【OHKURA大倉】臥式擴(kuò)散爐 ／ DF1000【OHKURA大倉】臥式擴(kuò)散爐 ／ DF1000【OHKURA大倉】臥式擴(kuò)散爐 ／ DF1000臥式擴(kuò)散爐是進(jìn)行半導(dǎo)體制造工藝中的一環(huán)，即熱處理的系統(tǒng)。其結(jié)構(gòu)是水平組裝加熱器室，并堆疊2-4層，有效利用了縱向空間，熱處理的種類包括擴(kuò)散、氧化等，處理溫度也由低溫至高溫不等，使用本公司生產(chǎn)的高性能控制器，可應(yīng)對各種工藝需求。特點(diǎn)■均熱性提高通過將與使用溫
【OHKURA大倉】臥式擴(kuò)散爐 ／ DF1000
【OHKURA大倉】臥式擴(kuò)散爐 ／ DF1000
【OHKURA大倉】臥式擴(kuò)散爐 ／ DF1000
■均熱性提高
通過將與使用溫度相應(yīng)的加熱器和本公司生產(chǎn)的高性能控制器結(jié)合使用，實(shí)現(xiàn)更加穩(wěn)定的溫度控制和均熱長度。
■支持100-200mm晶圓
擴(kuò)散爐系統(tǒng)直徑為φ100mm-φ200mm，可以根據(jù)客戶的要求提供合適的擴(kuò)散爐。
■簡單的維護(hù)性
即使其他加熱器正在升溫，也可安全更換熱電偶以及加熱器。
■性價(jià)比
精選所用部件，采用實(shí)用結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)低價(jià)格。
■支持翻新
外形尺寸已控制到最小，因此也能用于更新老舊且空間有限的系統(tǒng)。
| 晶圓尺寸 | ～φ200mm | ～φ150mm | ～φ125mm | ～φ100mm |
|---|---|---|---|---|
| 爐身尺寸 *1 | W 2650mm× D 1200mm× H 2580mm | W 2300mm× D 850mm× H 2395mm | W 2180mm× D 850mm× H 2395mm | W 1850mm× D 700mm× H 2150mm |
| 均熱長度 ＊2 | 900mm±1.0℃ （No.GAS） | 900mm±1.0℃ （No.GAS） | 800mm±1.0℃ （No.GAS） | 800mm±1.0℃ （No.GAS） |
| 溫度范圍 | 600～1200℃ | 600～1200℃ | 600～1200℃ | 600～1200℃ |
| 溫度控制 | 3Zone獨(dú)立控制 | 3Zone獨(dú)立控制 | 3Zone獨(dú)立控制 | 3Zone獨(dú)立控制 |
| 運(yùn)輸類（選購項(xiàng)） | 晶舟電梯 軟件加載器 | 軟件加載器 晶舟電梯 軟件加載器 | 軟件加載器 晶舟電梯 晶舟加載器、軟件加載器 | 晶舟加載器 |