貨期短OHKURA大倉 立式熱處理爐 DF2600貨期短OHKURA大倉 立式熱處理爐 DF2600貨期短OHKURA大倉 立式熱處理爐 DF2600本設(shè)備是立式熱處理爐（擴(kuò)散爐）系統(tǒng)，用于半導(dǎo)體制造過程中的熱處理過程。 對(duì)于傳統(tǒng)半導(dǎo)體工廠中使用的大容量泰國熱處理爐和用戶的個(gè)性化要求，我們可以以合理的價(jià)格靈活應(yīng)對(duì)每個(gè)單元的特殊規(guī)格。長處■ 性價(jià)比通過在引入時(shí)定制客戶支持并縮短啟動(dòng)時(shí)間，可以以低價(jià)格
貨期短OHKURA大倉 立式熱處理爐 DF2600
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貨期短OHKURA大倉 立式熱處理爐 DF2600
■ 性價(jià)比
通過在
引入時(shí)定制客戶支持并縮短啟動(dòng)時(shí)間
，可以以低價(jià)格提供。 ■ 貼合性能 與
現(xiàn)有潔凈室兼容
的設(shè)備概要 外形尺寸：H2600×W900×D1280
■ 維護(hù)性能 由于
主要部件和軟件均為內(nèi)部開發(fā)，因此將來
可以
繼續(xù)進(jìn)行維護(hù) ■ 定制性能 可以
進(jìn)行各種定制，以滿足
客戶需求
■ 產(chǎn)品性能 減少占地面積
，可替代
臥式爐
■ 能源性能 通過
開發(fā)
高效加熱器，與本公司相比，實(shí)現(xiàn)了10%的節(jié)能 可選支持高速溫升和溫降以及高溫過程
| - 基本規(guī)格 | |
|---|---|
| 建設(shè)： | 垂直向下開口 |
| 加工晶圓直徑： | 4,5,6,8 英寸 |
| 文件數(shù)量： | 工藝晶圓：150片（6英寸以下）100片（8英寸以下） |
| 盒式存儲(chǔ) ： | 處理，最多 8 個(gè)暗盒，包括假人（不超過 6 英寸） |
| 處理，最多 6 個(gè)暗盒，包括假人（8 英寸或更?。?/td> | |
| 過程： | 濕式、干式、退火等 |
| 用法： | N2、O2、H2等 |
| 晶圓處理： | 固定 3 張（標(biāo)準(zhǔn)），一次 5 張/1 張（可選） |
| 上升和下降率： | 溫升 10°C/min max 溫 降 3°C/min max |