貨期短OHKURA大倉 臥式擴散爐 DF1000
貨期短OHKURA大倉 臥式擴散爐 DF1000貨期短OHKURA大倉 臥式擴散爐 DF1000貨期短OHKURA大倉 臥式擴散爐 DF1000臥式擴散爐是一種進行熱處理的系統(tǒng)，熱處理是半導體制造過程的一部分。 其結構是加熱器室水平安裝，2~4級堆疊，垂直空間得到有效利用。 熱處理的類型包括擴散和氧化，加工溫度范圍從低溫~高溫，我們使用自己的高性能控制器來支持廣泛的工藝。長處■ 提高熱量均勻
- 型號：
貨期短OHKURA大倉 臥式擴散爐 DF1000
貨期短OHKURA大倉 臥式擴散爐 DF1000
貨期短OHKURA大倉 臥式擴散爐 DF1000
臥式擴散爐是一種進行熱處理的系統(tǒng)，熱處理是半導體制造過程的一部分。 其結構是加熱器室水平安裝，2~4級堆疊，垂直空間得到有效利用。 熱處理的類型包括擴散和氧化，加工溫度范圍從低溫~高溫，我們使用自己的高性能控制器來支持廣泛的工藝。
長處
■ 提高熱量均勻性 將與
工作溫度相匹配的加熱器與內(nèi)部高性能控制器相結合，可實現(xiàn)穩(wěn)定的溫度控制和熱量均衡長度。
■ 兼容100~200mm晶圓
擴散爐系統(tǒng)是滿足φ100mm至φ200mm客戶需求的擴散爐。
■易于維護
：當其他加熱器處于高溫狀態(tài)時，可以安全地更換熱電偶和加熱器。
■ 性價比 由于所用零件
的選擇和精簡的結構，我們實現(xiàn)了低價格。
■ 兼容
更新 我們還可以通過最小化外部尺寸來應對舊的和有限的空間系統(tǒng)的更新。
規(guī)范
| 晶圓尺寸 | ~φ200毫米 | ~φ150毫米 | ~φ125毫米 | ~φ100毫米 |
|---|---|---|---|---|
| 爐體尺寸 *1 | 寬 2650mm× 深 1200mm× 高 2580mm | 寬 2300mm× 深 850mm× 高 2395mm | 寬 2180mm× 深 850mm× 高 2395mm | 寬 1850mm× 深 700mm× 高 2150mm |
| 均衡加熱長度 *2 | 900mm±1.0°C （No.GAS） | 900mm±1.0°C （No.GAS） | 800mm±1.0°C （No.GAS） | 800mm±1.0°C （No.GAS） |
| 溫度范圍 | 600~1200°C | 600~1200°C | 600~1200°C | 600~1200°C |
| 溫度控制 | 3區(qū)獨立控制 | 3區(qū)獨立控制 | 3區(qū)獨立控制 | 3區(qū)獨立控制 |
| 輸送系統(tǒng)（選配） | 軟裝載機 船用升降機 | 軟裝卸機 船用升降機 船用裝載機 | 軟裝卸機 船用升降機 船用裝載機 | 船用裝載機 |