貨期短OHKURA大倉(cāng) 質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器 MF5100B貨期短OHKURA大倉(cāng) 質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器 MF5100B貨期短OHKURA大倉(cāng) 質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器 MF5100BMF5100B系列是集易用性和高性能于一身的質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器，如流量范圍大、溫度穩(wěn)定性高、具有三種模式的軟啟動(dòng)功能等。長(zhǎng)處■流量范圍廣 流量范圍廣，從最小 5 SCCM 到最大 400 SLM
貨期短OHKURA大倉(cāng) 質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器 MF5100B
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貨期短OHKURA大倉(cāng) 質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器 MF5100B
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流量范圍廣 流量范圍廣，從最小 5 SCCM 到最大 400 SLM。
■高可靠性
通過(guò)集成每個(gè)電路并優(yōu)化機(jī)械系統(tǒng)，盡管體積小，但我們實(shí)現(xiàn)了高可靠性。
■ 軟啟動(dòng)功能
主機(jī)內(nèi)置的軟啟動(dòng)功能為線性上升，時(shí)間可調(diào)（最長(zhǎng)70秒），并以三種不同的模式運(yùn)行（更改設(shè)置時(shí)、打開電源時(shí)、外部閥門關(guān)閉→打開時(shí)）。
■ 高穩(wěn)定性
：溫度穩(wěn)定性為0.05%/°C，泄漏標(biāo)準(zhǔn)可達(dá)1×10-10Pa·m3/s（He）。
* 有關(guān)規(guī)格，請(qǐng)參閱規(guī)格表。