技術(shù)指導(dǎo)OHKURA大倉 質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器 MF1100B技術(shù)指導(dǎo)OHKURA大倉 質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器 MF1100B技術(shù)指導(dǎo)OHKURA大倉 質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器 MF1100BMF1100B系列是實(shí)現(xiàn)高性能和低價(jià)格的質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器。 從5 SCCM~20 SLM有15個(gè)流量范圍，因此您可以輕松用于分析和工業(yè)用途。長處■ 高可靠性 通過集成內(nèi)部電路，實(shí)現(xiàn)
技術(shù)指導(dǎo)OHKURA大倉 質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器 MF1100B
技術(shù)指導(dǎo)OHKURA大倉 質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器 MF1100B
技術(shù)指導(dǎo)OHKURA大倉 質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器 MF1100B
■ 高可靠性 通過集成
內(nèi)部電路，實(shí)現(xiàn)了可靠性和緊湊性。
■ 高兼容性 可以使用與
我們的 MF5100B 系列相同的管道連接、電源和設(shè)置設(shè)備。
■豐富的外圍設(shè)備
提供端子、設(shè)置設(shè)備、電源和帶連接器的電纜等外圍設(shè)備。
| 型 | 質(zhì)量流量計(jì) | 質(zhì)量流量控制器 | ||
|---|---|---|---|---|
| 標(biāo)準(zhǔn)范圍 | 低價(jià)產(chǎn)品 | 通用產(chǎn)品 | 低價(jià)產(chǎn)品 | 通用產(chǎn)品 |
| 控制范圍 | MF1121B | MF1111B | MF1171B（NC） MF1181B（NO） | MF1141B（NC） MF1151B（NO） |
| 準(zhǔn)確度等級 | 0~5 SCCM 0~100 SCCM 0~2 SLM 0~10 〃 0~200 〃 0~3 〃 0~20 〃 0~300 〃 0~5 〃 0~30 〃 0~500 〃 0~10 〃 0~50 〃 0~1,000 〃 0~20 〃 | 0.1~5 SCCM 2~100 SCCM 0.04~2 SLM 0.2~10 〃 4~200 〃 0.06~3 〃 0.4~20 〃 6~300 〃 0.1~5 〃 0.6~30 〃 10~500 〃 0.2~10 〃 1.0~50 〃 20~1,000 〃 0.4~20 〃 | ||
| 控制范圍 | － | 2~100%F.S | ||
| 準(zhǔn)確度等級 | ±2%FS以下 | ± 1.5%FS以下 | ±2%FS以下 | ± 1.5%FS以下 |
| 線性 | ±1%FS以下 | ± 0.7%FS以下 | ±1%FS以下 | ± 0.7%FS以下 |
| 再現(xiàn)性 | ± 0.2%FS以下 | ± 0.2%FS以下 | ± 0.2%FS以下 | ± 0.2%FS以下 |
| 響應(yīng)時(shí)間 | 收斂時(shí)間在設(shè)定值的 ±2% F.S. 以內(nèi)，約 3 秒內(nèi) | |||
| 最大工作壓力 | 1.0兆帕 | |||
| 壓力 | 1.5兆帕 | |||
| 壓降 | 5.0千帕 | |||
| 工作壓差 | － | 5SCCM~5SLM ： 34~275kPa 10~20SLM ： 69~275kPa | ||
| 流量設(shè)定 | － | 0~5V 直流 | 0~5V DC（標(biāo)準(zhǔn)）1 ~5V DC（可選） | |
| 輸出信號 | 0~5V 直流 | 0~5V DC（標(biāo)準(zhǔn)）1 ~5V DC（可選） | ||
| 工作溫度范圍 | 5~45°C（氣體溫度相同） | |||
| 安裝姿態(tài)誤差 | ± 0.5% FS 以下（安裝姿勢自由） | |||
| 泄漏標(biāo)準(zhǔn) | 1.013×10-9?m3/s（He）以下（典型值） | |||
| 管道連接 | 1/4 世偉洛克（標(biāo)準(zhǔn)）、VCR（可選） | |||
| 氣體接觸材料 | SUS316，氟橡膠 | SUS316、氟橡膠、含氟聚合物 | ||
| 質(zhì)量 | 約680g | 約800g | ||
| 功耗 | 1VA以下 | 3VA以下 | ||