該設備作為半導體行業(yè)的晶圓干燥設備有著良好的記錄。利用離心力和氣流通過 ULPA 過濾器，干凈地排水和干燥工件。主要規(guī)格電源AC200V 3φ 50/60Hz 8A駕駛空氣0.3Mpa（3公斤/平方厘米）最大處理能力8 英寸 x 25 片托架 1 個托架超高效過濾器是的離子發(fā)生器是的控制PLC/變頻器操作部分觸控面板注冊駕駛食譜數(shù)量五種類型轉數(shù)3,500rpm?。?,000rpm 適用于 5 英寸
該設備作為半導體行業(yè)的晶圓干燥設備有著良好的記錄。利用
離心力和氣流通過 ULPA 過濾器，干凈地排水和干燥工件。
| 電源 | AC200V 3φ 50/60Hz 8A |
|---|---|
| 駕駛空氣 | 0.3Mpa（3公斤/平方厘米） |
| 最大處理能力 | 8 英寸 x 25 片托架 1 個托架 |
| 超高效過濾器 | 是的 |
| 離子發(fā)生器 | 是的 |
| 控制 | PLC/變頻器 |
| 操作部分 | 觸控面板 |
| 注冊駕駛食譜數(shù)量 | 五種類型 |
| 轉數(shù) | 3,500rpm （3,000rpm 適用于 5 英寸和 6 英寸或以上） |
| 發(fā)動機 | 變頻電機 |
| 尺寸 | 652(W)×1135(D)×1080(H)mm 蓋子打開時的高度 1352(H)mm |
| 重量 | 110公斤 |
*我們還有支持最大8英寸的設備陣容，手動機、自動機等。對于
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