特點/應(yīng)用該設(shè)備作為半導(dǎo)體行業(yè)的晶圓干燥設(shè)備有著良好的記錄。利用離心力和氣流清潔地排出和干燥工件。搖籃升高機(jī)構(gòu)自動升高搖籃。主要規(guī)格電源AC200V 3φ 50/60Hz 15A駕駛空氣0.5Mpa（5公斤/平方厘米）最大處理能力6 英寸托架 x 2 個機(jī)架5 英寸或更小的托架 x 2 個機(jī)架或 4 個機(jī)架允許裝載重量2,000g以內(nèi)（每個支架的負(fù)載重量）超高效過濾器是的離子發(fā)生器是的控制PLC/
該設(shè)備作為半導(dǎo)體行業(yè)的晶圓干燥設(shè)備有著良好的記錄。利用
離心力和氣流清潔地排出和干燥工件。
搖籃升高機(jī)構(gòu)自動升高搖籃。
| 電源 | AC200V 3φ 50/60Hz 15A |
|---|---|
| 駕駛空氣 | 0.5Mpa（5公斤/平方厘米） |
| 最大處理能力 | 6 英寸托架 x 2 個機(jī)架 5 英寸或更小的托架 x 2 個機(jī)架或 4 個機(jī)架 |
| 允許裝載重量 | 2,000g以內(nèi)（每個支架的負(fù)載重量） |
| 超高效過濾器 | 是的 |
| 離子發(fā)生器 | 是的 |
| 控制 | PLC/變頻器 |
| 操作部分 | 按鈕開關(guān) |
| 轉(zhuǎn)數(shù) | 1,000rpm （正常轉(zhuǎn)速800rpm） |
| 發(fā)動機(jī) | 變頻電機(jī) |
| 尺寸 | 800(W)×990(D)×1004(H)mm 蓋子打開時的高度 1528(H)mm |
| 重量 | 180公斤 |
*我們還有支持最大8英寸的設(shè)備陣容，手動機(jī)、自動機(jī)等。對于
半導(dǎo)體以外的應(yīng)用，請隨時與我們聯(lián)系。
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