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SANWA三和電機

半導(dǎo)體制造設(shè)備SVS-7 絕對壓力基準(zhǔn)高真空開關(guān)SANWA三和電機

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防水絕對壓力參考高真空開關(guān),帶接線盒,采用堅固的鋁壓鑄蓋。
波紋管內(nèi)部與真空中的檢測元件一樣處于高真空狀態(tài),因此具有不易受到大氣壓力波動影響的結(jié)構(gòu)。
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造設(shè)備、化學(xué)分析設(shè)備、真空蒸發(fā)設(shè)備、機械增壓器等。
接線安裝時,開關(guān)內(nèi)部有 3P 端子排,可使用外皮直徑為 φ7 至 φ11 的輪胎簾線進行接線。
安裝方式有法蘭式和旋入式。還提供 VCR 接頭和套圈。


是具備單極雙擲接點,在設(shè)定真空度的上限、下限同時得到ON-OFF的2點控制信號,

根據(jù)需要可以變更設(shè)定真空度的真空自動控制開關(guān)。


真空檢測元件使用多級波紋管。


電開閉機構(gòu)通過敏銳的捕捉動作機構(gòu)確保開閉的可靠性,簡單的設(shè)計累積誤差少,

是動作靈敏度高的構(gòu)造,作為要求精度高的長壽命性的真空控制的檢測端是合適的。


產(chǎn)品規(guī)格

1.受壓部(接液部)

鋅合金壓鑄ZDC2(標(biāo)準(zhǔn)品)

不銹鋼SUS-304?SUS-316

黃銅C3604BD(Ni電鍍處理)

2.受壓元件

多級波紋管材質(zhì)磷青銅(受壓鋅合金壓鑄)

磷青銅(受壓部黃銅)

不銹鋼(受壓不銹鋼)

NBR(受壓鋅合金壓鑄、黃銅)

FPM(受壓部不銹鋼)

EPDM

4.安裝

G1/4?G3/8(標(biāo)準(zhǔn)品)?Rc1/4?Rc3/8

另外還準(zhǔn)備了下述的接頭,還有下述沒有的接頭

制作成指示形狀。




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