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使用狹縫光以.1μm單位無接觸測量深度高度的光切斷型測量顯微鏡。

厚膜IC高度、用于粘接的密封劑的高度、引線框針尖的偏差高度位移、圓盤上緣面的倒角深度、etc.

■也有應用這一原理測量兩片玻璃間隙的機器。


觀察方法

光學切割法(利用狹縫光學系統(tǒng)測量深度和高度)
物鏡

固定放大倍率:10倍(也可提供5倍和20倍)
Z軸驅(qū)動方式

使用聚光燈的 AF 連續(xù)跟蹤方法(可離線手動測量)
投影狹縫

10μm半反射鏡型
Z軸測量

Z軸數(shù)字線性規(guī)0.1μm讀數(shù)
重復性

±1μm以內(nèi)
使用的光源

半導體激光器(2級)、鹵素光源











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