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NSK日商精密光學 KY-60-P深度測定儀 小型零件三維測量
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NSK日商精密光學 KY-60-TVDG深度測定儀 塑料成型品
使用狹縫光以.1μm單位無接觸測量深度高度的光切斷型測量顯微鏡。
厚膜IC高度、用于粘接的密封劑的高度、引線框針尖的偏差高度位移、圓盤上緣面的倒角深度、etc.
■也有應用這一原理測量兩片玻璃間隙的機器。
■ | 觀察方法 |
光學切割法(利用狹縫光學系統(tǒng)測量深度和高度) | |
■ | 物鏡 |
固定放大倍率:10倍(也可提供5倍和20倍) | |
■ | Z軸驅(qū)動方式 |
使用聚光燈的 AF 連續(xù)跟蹤方法(可離線手動測量) | |
■ | 投影狹縫 |
10μm半反射鏡型 | |
■ | Z軸測量 |
Z軸數(shù)字線性規(guī)0.1μm讀數(shù) | |
■ | 重復性 |
±1μm以內(nèi) | |
■ | 使用的光源 |
半導體激光器(2級)、鹵素光源 |