NSK日商精密光學(xué) 玉崎 AF/微米深度高度測(cè)量機(jī)

NSK日商精密光學(xué) 玉崎 AF/微米深度高度測(cè)量機(jī)特征1.這是一種新型深度和高度測(cè)量裝置，結(jié)合了使用光切割的狹縫圖像觀察和使用聚光圖像的AF（自動(dòng)對(duì)焦）跟蹤。2.連續(xù)跟蹤自動(dòng)對(duì)焦驅(qū)動(dòng)可實(shí)現(xiàn)快速、易于使用的測(cè)量，并具有高重復(fù)性。3.由于該方法是在觀察狹縫圖像投影的臺(tái)階形狀的同時(shí)進(jìn)行測(cè)量，因此可以實(shí)時(shí)識(shí)別測(cè)量屏幕上的高度，從而輕松確定需要測(cè)量的區(qū)域。4.這是一種狹縫圖像、點(diǎn)光圖像和電子線參考線的中心在

型號(hào)：

在線詢(xún)價(jià)

特征

	1.這是一種新型深度和高度測(cè)量裝置，結(jié)合了使用光切割的狹縫圖像觀察和使用聚光圖像的AF（自動(dòng)對(duì)焦）跟蹤。
	2.連續(xù)跟蹤自動(dòng)對(duì)焦驅(qū)動(dòng)可實(shí)現(xiàn)快速、易于使用的測(cè)量，并具有高重復(fù)性。
	3.由于該方法是在觀察狹縫圖像投影的臺(tái)階形狀的同時(shí)進(jìn)行測(cè)量，因此可以實(shí)時(shí)識(shí)別測(cè)量屏幕上的高度，從而輕松確定需要測(cè)量的區(qū)域。
	4.這是一種狹縫圖像、點(diǎn)光圖像和電子線參考線的中心在測(cè)量點(diǎn)處都重合的測(cè)量系統(tǒng)，通過(guò)檢查錯(cuò)位，可以防止測(cè)量值錯(cuò)誤。
	5.光切割仰角可根據(jù)應(yīng)用場(chǎng)合從標(biāo)準(zhǔn)90°至30°、60°、120°中選擇。

主要規(guī)格

■	觀察方法
	光學(xué)切割法（利用狹縫光學(xué)系統(tǒng)測(cè)量深度和高度）
■	物鏡
	固定放大倍率：10倍（也可提供5倍和20倍）
■	Z軸驅(qū)動(dòng)方式
	使用聚光燈的 AF 連續(xù)跟蹤方法（可離線手動(dòng)測(cè)量）
■	投影狹縫
	10μm半反射鏡型
■	Z軸測(cè)量
	Z軸數(shù)字線性規(guī)0.1μm讀數(shù)
■	重復(fù)性
	±1μm以?xún)?nèi)
■	使用的光源
	半導(dǎo)體激光器（2級(jí)）、鹵素光源