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TAISEI大成技研

玉崎供應(yīng)-TAISEI大成技研 TU-1500/J組合型氣態(tài)除粉裝置

玉崎供應(yīng)-TAISEI大成技研 TU-1500/J組合型氣態(tài)除粉裝置

玉崎供應(yīng)-TAISEI大成技研 TU-1500/J組合型氣態(tài)除粉裝置TRAPPACK（組合型）TRAPACK的進(jìn)一步進(jìn)化，配備組合型元件（渦流型+元件型）的氣態(tài)除粉裝置。外觀(guān)結(jié)構(gòu)特征去除細(xì)小反應(yīng)產(chǎn)物（細(xì)粉）單元密度低，網(wǎng)格空隙大粉末在螺旋和元件部分分層。?主要用途 / CVD、蝕刻 ?一次元件 / 渦流元件?二次元件 / Trapak 元件 ?安裝位置 / 排氣TU-1500/J（組合型）主要用途

型號(hào)： TU-1500/J

在線(xiàn)詢(xún)價(jià)

玉崎供應(yīng)-TAISEI大成技研 TU-1500/J組合型氣態(tài)除粉裝置

TRAPPACK（組合型）

TRAPACK的進(jìn)一步進(jìn)化，配備組合型元件（渦流型+元件型）的氣態(tài)除粉裝置。

外觀(guān)結(jié)構(gòu)

特征

圖片關(guān)鍵詞

去除細(xì)小反應(yīng)產(chǎn)物（細(xì)粉）

單元密度低，網(wǎng)格空隙大

粉末在螺旋和元件部分分層。

?主要用途 / CVD、蝕刻 ?一次元件 / 渦流元件
?二次元件 / Trapak 元件 ?安裝位置 / 排氣

TU-1500/J
（組合型）

陷阱包：陷阱包：tu-1500

主要用途：蝕刻/CVD
元件類(lèi)型：HL + 螺旋
端口尺寸：NW40、NW50
尺寸：□370mm x H707mm
重量：49kg / 65kg

TU-3100/J
（組合型）

陷阱包：陷阱包：tu-3100

主要用途：蝕刻/CVD
元件類(lèi)型：IL+渦流
連接尺寸：NW40、NW50
尺寸：□400mm x H1013mm
重量：93kg / 98kg

TU-4100/J
（組合型）

陷阱包：trappack：tu-4100

主要用途：蝕刻/CVD
元件類(lèi)型：KL + 螺旋
端口尺寸：NW40、NW50
尺寸：□430mm x H1064mm
重量：104kg / 147kg

TU-5100/J
（組合型）

圖片關(guān)鍵詞

主要用途：蝕刻/CVD
元件類(lèi)型：KL + 螺旋
端口尺寸：NW40、NW50
尺寸：□485mm x H1064mm
重量：110kg / 127kg

TU-6100/J
（組合型）

圖片關(guān)鍵詞

主要用途：蝕刻/CVD
元件類(lèi)型：KL + 螺旋
連接尺寸：NW40、NW50
尺寸：□535mm x H1264mm
重量：160kg / 220kg