TAISEI大成技研 TRAPPACK氣體除粉裝置TU-50LM

TAISEI大成技研 TRAPPACK氣體除粉裝置TU-50LMJ

TAISEI大成技研 TU-65LM氣體除粉裝置 螺旋結(jié)構(gòu)

TAISEI大成技研 TU-65LMJ氣體除粉裝置 螺旋結(jié)構(gòu)

TAISEI大成技研 渦流型 氣體除粉裝置TU-85LM

日本TAISEI大成技研 渦流型 氣體除粉裝置TU-85LMJ

玉崎供應-TAISEI大成技研 氣體粉末除塵設備TU-95LM

玉崎供應-TAISEI大成技研 氣體粉末除塵設備TU-95LMJ

玉崎供應-TAISEI大成技研 氣體微粉體除去設備TU-105LM

玉崎供應-TAISEI大成技研 氣體微粉體除去設備TU-105LMJ

產(chǎn)品列表

氣體的粉體除去裝置「TRAPPACK」，陣容著要素類型，旋渦類型，組合類型。

元素類型

反應產(chǎn)物（粉體）從元件表面到深層都被捕捉到。采用了捕集自重10倍以上粉體的“老虎包元件”。

渦流型

安裝在旋渦結(jié)構(gòu)物（旋渦加工板）中。排氣中的反應生成物面向中央，

采用在旋渦旋流中反復吸附捕集碰撞的“旋渦元件”。

組合型

通過采用多層“背包元素”和“漩渦元素”，可以實現(xiàn)兩種元素的優(yōu)點。

TRAPPACK（Uzu型）

這是一種氣體除粉裝置，是 Trapac 的進一步發(fā)展，配備了漩渦型元件。

外觀結(jié)構(gòu) 特征 由于螺旋結(jié)構(gòu)，粉末不會長時間經(jīng)歷壓力損失 幾乎所有粉末都被渦流數(shù)和渦流螺距的組合所排除。 粉末分層在安裝的渦流元件的表面上。 ?主要用途 / CVD、蝕刻 ?一次元件 / 渦流元件 ?二次元件 / 無 ?安裝位置 / 真空、排氣

TU-50LM /LMJ (渦流型) 主要用途：蝕刻/CVD 元件類型：ASD-50 渦流 連接尺寸：NW40、NW50 尺寸：□370mm x H707mm 重量：53kg / 68kg

TU-65LM /LMJ (渦流型) 主要用途：蝕刻/CVD 元件類型：ASD-65 渦流 連接尺寸：NW40、NW50 尺寸：□400mm x H1013mm 重量：94kg / 99kg

TU-85LM /LMJ (渦流型) 主要用途：蝕刻/CVD 元件類型：ASD-85 渦流 連接尺寸：NW40、NW50 尺寸：□430mm x H1064mm 重量：100kg / 115kg

TU-95LM /LMJ (渦流型) 主要用途：蝕刻/CVD 元件類型：ASD-95 渦流 連接尺寸：NW40、NW50 尺寸：□485mm x H1064mm 重量：145kg / 160kg

TU-105LM /LMJ (渦流型) 主要用途：蝕刻/CVD 元件類型：ASD-105 渦流 連接尺寸：NW40、NW50 尺寸：□535mm x H1264mm 重量：180kg / 240kg