玉崎供應(yīng)-TAISEI大成技研 TU-200真空泵氣體粉體凈化器
玉崎供應(yīng)-TAISEI大成技研 TU-250真空泵氣體粉體凈化器
TAISEI大成技研 半導(dǎo)體領(lǐng)域 TU-500氣體粉體凈化器
TAISEI大成技研 半導(dǎo)體領(lǐng)域 TU-500W氣體粉體凈化器
TAISEI大成技研 液晶制造設(shè)備 TU-1000細(xì)粉去除捕集器
產(chǎn)品列表
氣體的粉體除去裝置「trapack」,陣容著要素類型,旋渦類型,組合類型。
適合收納“老虎包”的“老虎包柜”,可以根據(jù)客人的需求進(jìn)行選擇。
元素類型
反應(yīng)產(chǎn)物(粉體)從元件表面到深層都被捕捉到。采用了捕集自重10倍以上粉體的“老虎包元件”。
渦流型
安裝在旋渦結(jié)構(gòu)物(旋渦加工板)中。排氣中的反應(yīng)生成物面向中央,
采用在旋渦旋流中反復(fù)吸附捕集碰撞的“旋渦元件”。
組合型
通過采用多層“背包元素”和“漩渦元素”,可以實現(xiàn)兩種元素的優(yōu)點。
TU-200 (エレメントタイプ) |  | 主要用途 : インプラ エレメント形式 : EL 接続口徑 : NW25 サイズ : D210mm×H210mm 重量 : 5.3kg |
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TU-250 (エレメントタイプ) |  | 主要用途 : インプラ エレメント形式 : FL 接続口徑 : NW40 サイズ : D210mm×H295mm 重量 : 6.5kg |
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TU-500 (エレメントタイプ) |  | 主要用途 : インプラ?エッチング エレメント形式 : GL 接続口徑 : NW40 サイズ : D300mm×H267mm 重量 : 10.0kg |
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TU-500W (エレメントタイプ) |  | 主要用途 : インプラ?エッチング エレメント形式 : HL 接続口徑 : NW40、NW50 サイズ : D300mm×H415mm 重量 : 13kg |
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