玉崎供應(yīng)-TAISEI大成技研 TU-200真空泵氣體粉體凈化器玉崎供應(yīng)-TAISEI大成技研 TU-250真空泵氣體粉體凈化器TAISEI大成技研 半導(dǎo)體領(lǐng)域 TU-500氣體粉體凈化器產(chǎn)品列表氣體的粉體除去裝置「trapack」，陣容著要素類型，旋渦類型，組合類型。適合收納“老虎包”的“老虎包柜”，可以根據(jù)客人的需求進(jìn)行選擇。元素類型反應(yīng)產(chǎn)物（粉體）從元件表面到深層都被捕捉到。采用了捕集自重1
玉崎供應(yīng)-TAISEI大成技研 TU-200真空泵氣體粉體凈化器
玉崎供應(yīng)-TAISEI大成技研 TU-250真空泵氣體粉體凈化器
TAISEI大成技研 半導(dǎo)體領(lǐng)域 TU-500氣體粉體凈化器
產(chǎn)品列表
氣體的粉體除去裝置「trapack」，陣容著要素類型，旋渦類型，組合類型。
適合收納“老虎包”的“老虎包柜”，可以根據(jù)客人的需求進(jìn)行選擇。
元素類型
反應(yīng)產(chǎn)物（粉體）從元件表面到深層都被捕捉到。采用了捕集自重10倍以上粉體的“老虎包元件”。
渦流型
安裝在旋渦結(jié)構(gòu)物（旋渦加工板）中。排氣中的反應(yīng)生成物面向中央，
采用在旋渦旋流中反復(fù)吸附捕集碰撞的“旋渦元件”。
組合型
通過(guò)采用多層“背包元素”和“漩渦元素”，可以實(shí)現(xiàn)兩種元素的優(yōu)點(diǎn)。
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