京都玉崎供應(yīng) WATTY 燃?xì)饧訜崞鱓EX-S*-2*

京都玉崎供應(yīng) WATTY 燃?xì)饧訜崞鱓EX-S*-3*

< 特點 >

用于半導(dǎo)體/FPD制造的超高純度氣體供應(yīng)/加熱

各種分析設(shè)備的超高純氣體供應(yīng)/加熱

適合向熱處理爐等供給氣氛氣體。

S尺寸流量10L，L尺寸流量100L，

支持工作溫度300℃

【換熱器特點】

1、S/M/L型采用EP管結(jié)構(gòu)

- 與氣體接觸的配件和管道等部件均采用不銹鋼（SUS316L）制成。

?加熱氣體在不接觸加熱器表面的情況下被加熱。通過清潔管道傳輸時，在保持清潔的同時進(jìn)行加熱。

2、小型、輕量、高效

?從最小流量10L/min到最大流量100L/min、最高使用溫度300℃，各尺寸均具有最佳規(guī)格的產(chǎn)品陣容。

3，標(biāo)配熱電偶和恒溫器

- 溫度控制和防止溫度過度升高的考慮也是標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。接線也很容易。

4、入口/出口配件可更換

?標(biāo)準(zhǔn)配件為 UJR 1/4 女性尺寸。

- 與 1/4 至 1/2 尺寸的入口/出口尺寸兼容。