EST-L6HKP-200H隔振臺KURAKA倉敷化工 支持半導(dǎo)體制造設(shè)備

EST-L6HKP-200L減振線性主動隔振臺KURAKA倉敷化工 EST-L6HKP-200M減振線性主動隔振臺KURAKA倉敷化工 EST-L6HKP-200H隔振臺KURAKA倉敷化工 支持半導(dǎo)體制造設(shè)備性能/特點它幾乎不消耗空氣。它還可以與小型壓縮機一起使用。使用高推力直線電機作為執(zhí)行器。LH型具有優(yōu)異的隔振性能，現(xiàn)在可用于減振目的。配備MFF（運動前饋控制）。通過預(yù)先輸入平臺運動信息，可

• 型號： EST-L6HKP-200H