ASAHI-RIKA旭理化 大型置換爐ARF-151-135-Ⅲ型半導(dǎo)體熱處理研究
ASAHI-RIKA旭理化 大型置換爐ARF-151-135-Ⅲ型半導(dǎo)體熱處理研究格式ARF-151-135-Ⅲ型樣本量25 個(gè) 4 英寸晶圓:1 次充電 x爐管尺寸內(nèi)徑φ135×1400mmL×2種使用范圍溫度室溫+100℃~1000℃最高溫度最高1200℃浸泡區(qū)長度±5℃ 中心部分350mm加熱區(qū)φ180 250×350×250mmL電容單相AC200V 5.5Kw
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