日本原裝CANON-ANELVA佳能912-7125離子泵/貴族泵離子泵和惰性泵在磁場中產(chǎn)生冷陰極放電，將電離的氣體分子嵌入陰極，并在與陰極碰撞時濺射陰極材料（Ti），產(chǎn)生活性這是一種進(jìn)行抽真空的超高真空泵通過不斷地創(chuàng)造吸氣劑薄膜。成分特征目的完全無油超高真空及超高真空排氣系統(tǒng)電子顯微鏡、表面分析裝置粒子加速器、聚變實驗裝置、空間環(huán)境試驗裝置電子管等真空保持泵規(guī)格特征完全無油由于不使用油等有機(jī)物質(zhì)
日本原裝CANON-ANELVA佳能912-7125離子泵/貴族泵
離子泵和惰性泵在磁場中產(chǎn)生冷陰極放電，將電離的氣體分子嵌入陰極，并在與陰極碰撞時濺射陰極材料（Ti），產(chǎn)生活性這是一種進(jìn)行抽真空的超高真空泵通過不斷地創(chuàng)造吸氣劑薄膜。
特征
目的
完全無油超高真空及超高真空排氣系統(tǒng)
電子顯微鏡、表面分析裝置
粒子加速器、聚變實驗裝置、空間環(huán)境試驗裝置
電子管等真空保持泵
規(guī)格
完全無油
由于不使用油等有機(jī)物質(zhì)，因此可以獲得清潔的真空而不污染系統(tǒng)。
超高真空、超超真空
離子泵和惰性泵的工作壓力范圍為10 -1 Pa至10 -9 Pa，是產(chǎn)生超高真空的理想選擇。
無人操作
只需用電，方便夜間無人操作和遠(yuǎn)程控制。
惰性氣體抽氣（惰性氣體泵）
與雙極離子泵相比，惰性氣體的抽氣速度更高（氬氣約為空氣的 21%）
| 名稱 | 20 L/s 離子泵 | 20 L/s 貴族泵 | |
|---|---|---|---|
| 型號名稱 | 912-7125 | 912-7120 | |
| 抽速 （對于氮?dú)?/span>） | 20升/秒 | ||
| 工作范圍（注1） | 10 -1至 10 -9 Pa | 1 至10-9帕 | |
| 啟動壓力（注1） | 1.3Pa以下 | 6.7Pa以下 | |
| 內(nèi)部容積 | 1.4升 | ||
| 最高加熱溫度 | 250℃ | ||
| 進(jìn)口 | φ70ICF | ||
| 目前介紹終端 | 不可更換 | ||
| 元件（用于更換） | 不可更換 | ||
| 磁鐵 | 912-7121（1 件）包含在主機(jī)中 | ||
| 大量的 | 10.5公斤 | ||
| 名稱 | 30 L/s 離子泵 | 30 L/s 貴族泵 | |
|---|---|---|---|
| 型號名稱 | 912-7135 | 912-7130 | |
| 抽速 （對于氮?dú)?/span>） | 30升/秒 | ||
| 工作范圍（注1） | 10 -1至 10 -9 Pa | 1 至10-9帕 | |
| 啟動壓力（注1） | 1.3Pa以下 | 6.7Pa以下 | |
| 內(nèi)部容積 | 2.2升 | ||
| 最高加熱溫度 | 250℃ | ||
| 進(jìn)口 | φ114ICF | ||
| 目前介紹終端 | 954-7281 | ||
| 元件（用于更換） | 不可更換 | ||
| 磁鐵 | 912-7121（1 件）包含在主機(jī)中 | ||
| 大量的 | 12.5公斤 | ||
| 名稱 | 60L/S 離子泵 | 60 L/s 貴族泵 | |
|---|---|---|---|
| 型號名稱 | 912-7165 | 912-7160 | |
| 抽速 （對于氮?dú)?/span>） | 60升/秒 | ||
| 工作范圍（注1） | 10 -1至 10 -9 Pa | 1 至10-9帕 | |
| 啟動壓力（注1） | 1.3Pa以下 | 6.7Pa以下 | |
| 內(nèi)部容積 | 6.2升 | ||
| 最高加熱溫度 | 250℃ | ||
| 進(jìn)口 | φ152ICF | ||
| 目前介紹終端 | 954-7281 | ||
| 元件（用于更換） | 915-7027（1對） | 915-9527（1對） | |
| 磁鐵 | 912-7121（2 件）包含在主機(jī)中 | ||
| 大量的 | 25.6公斤 | ||
| 泵 | 名稱 | 110 L/s 貴族泵 | 140 L/s 離子泵 |
|---|---|---|---|
| 型號名稱 | 912-7020 | 912-7010 | |
| 抽速 （對于氮?dú)?/span>） | 110升/秒 | 140升/秒 | |
| 工作范圍（注1） | 1 至10-9帕 | 10 -1至 10 -9 Pa | |
| 啟動壓力（注1） | 6.7Pa以下 | 1.3Pa以下 | |
| 內(nèi)部容積 | 18升 | ||
| 最高加熱溫度 | 250℃ | ||
| 進(jìn)口 | φ203ICF | ||
| 目前介紹終端 | 954-7281 | ||
| 元件（用于更換） | 915-9520（1件） | 915-9510（1件） | |
| 磁鐵 | 912-7001（1 件）包含在主體中 | ||
| 大量的 | 48公斤 | ||
| 名稱 | 220 L/s 貴族泵 | ||
|---|---|---|---|
| 型號名稱 | 912-7040 | 912-7041 | |
| 抽速 （對于氮?dú)?/span>） | 220升/秒 | ||
| 工作范圍（注1） | 5×10 -1 ~ 10 -9帕 | ||
| 啟動壓力（注1） | 3.4Pa以下 | ||
| 內(nèi)部容積 | 26升 | 28升 | |
| 最高加熱溫度 | 250℃ | ||
| 進(jìn)口 | φ203ICF | ||
| 目前介紹終端 | 954-7281 | ||
| 元件（用于更換） | 915-9510（2件） | ||
| 磁鐵 | 912-7002（1 件） 包含在主體中 | 912-7001（2 件） 包含在主體中 | |
| 大量的 | 85公斤 | 90公斤 | |
| 名稱 | 220 L/s 貴族泵 | ||
|---|---|---|---|
| 型號名稱 | 912-7040 | 912-7041 | |
| 抽速 （對于氮?dú)?/span>） | 220升/秒 | ||
| 工作范圍（注1） | 5×10 -1 ~ 10 -9帕 | ||
| 啟動壓力（注1） | 3.4Pa以下 | ||
| 內(nèi)部容積 | 26升 | 28升 | |
| 最高加熱溫度 | 250℃ | ||
| 進(jìn)口 | φ203ICF | ||
| 目前介紹終端 | 954-7281 | ||
| 元件（用于更換） | 915-9510（2件） | ||
| 磁鐵 | 912-7002（1 件） 包含在主體中 | 912-7001（2 件） 包含在主體中 | |
| 大量的 | 85公斤 | 90公斤 | |
| 名稱 | 400 L/s 貴族泵 | 500L/S 離子泵 | |
|---|---|---|---|
| 型號名稱 | 912-7060 | 912-7050 | |
| 抽速 （對于氮?dú)?/span>） | 400升/秒 | 500升/秒 | |
| 工作范圍（注1） | 1 至10-9帕 | 10 -1至 10 -9 Pa | |
| 啟動壓力（注1） | 6.7Pa以下 | 1.3Pa以下 | |
| 內(nèi)部容積 | 38升 | ||
| 最高加熱溫度 | 250℃ | ||
| 進(jìn)口 | φ203ICF | ||
| 目前介紹終端 | 954-7281 | ||
| 元件（用于更換） | 915-9520（4件） | 915-9510（4件） | |
| 磁鐵 | 912-7002（2 件）包含在主體中 | ||
| 大量的 | 120公斤 | ||
| 名稱 | 800 L/s 貴族泵 | 1000 L/s 離子泵 | |||
|---|---|---|---|---|---|
| 型號名稱 | 912-9110 | 912-7190 | 912-9100 | 912-7195 | |
| 抽速 （對于氮?dú)?/span>） | 800升/秒 | 1000升/秒 | |||
| 工作范圍（注1） | 10 -2至 10 -9 Pa | 10 -3至 10 -9 Pa | |||
| 啟動壓力（注1） | 1.3×10 -1 Pa以下 | 1.3×10 -2 Pa以下 | |||
| 內(nèi)部容積 | 106升 | ||||
| 最高加熱溫度 | 250℃ | ||||
| 進(jìn)口 | φ326CS 法蘭 | φ356ICF | φ326CS 法蘭 | φ356ICF | |
| 目前介紹終端 | 954-7281 | ||||
| 元件（用于更換） | 912-9520（8件） | 915-9510（8件） | |||
| 磁鐵 | 912-7003（2 件）包含在主機(jī)中 | ||||
| 大量的 | 257公斤 | ||||
| 名稱 | 20L/S 離子泵 | 20 L/s 貴族泵 | |
|---|---|---|---|
| 型號名稱 | 912-7125 | 912-7120 | |
| 抽速 （對于氮?dú)?/span>） | 20升/秒 | ||
| 工作范圍（注1） | 10 -1至 10 -9 Pa | 1 至10-9帕 | |
| 啟動壓力（注1） | 1.3Pa以下 | 6.7Pa以下 | |
| 內(nèi)部容積 | 1.4升 | ||
| 最高加熱溫度 | 250℃ | ||
| 進(jìn)口 | φ70ICF | ||
| 目前介紹終端 | 不可更換 | ||
| 元件（用于更換） | 不可更換 | ||
| 磁鐵 | 912-7121（1 件）包含在主機(jī)中 | ||
| 大量的 | 10.5公斤 | ||