總經(jīng)銷CANON-ANELVA佳能組合泵1600 L/s、日本原裝CANON-ANELVA佳能400 L/s 組合泵、日本原裝CANON-ANELVA佳能400 L/s 組合泵
組合泵將鈦升華泵和三極離子泵(貴族泵)組合在一起,利用離子泵輕松產(chǎn)生清潔超高真空的能力,并實(shí)現(xiàn)高抽速,價(jià)格便宜
成分
特征
抽速大
每抽速1L/s的價(jià)格(包括控制裝置的價(jià)格)約為離子泵的1/2至1/3。
與相同抽速的離子泵相比,輕便緊湊,體積和重量?jī)H為1/5至1/10。因此,它可以很容易地安裝和從排氣系統(tǒng)中拆卸,并且可以在很小的空間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高排氣速度。
400 L/s 組合泵
排氣速度/排氣流量 | 參考圖1 |
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工作壓力范圍 | 10 -1 Pa 至 10 -9 Pa |
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烘烤溫度 | 最高250℃ |
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大量的 | 約15公斤 |
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進(jìn)氣法蘭 | φ152ICF法蘭 |
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內(nèi)容積 | 4.5升 |
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適用控制裝置 | 922-9119 升華泵控制器和 PIC-052NP 20/60 L/s Noble 泵控制器 |
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800 L/s 組合泵
排氣速度/排氣流量 | 見(jiàn)圖2 |
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工作壓力范圍 | 10 -1 Pa 至 10 -9 Pa |
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烘烤溫度 | 最高250℃ |
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大量的 | 約25公斤 |
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進(jìn)氣法蘭 | φ203ICF法蘭 |
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內(nèi)容積 | 約7.5升 |
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適用控制裝置 | 922-9119 升華泵控制器和 PIC-052NP 20/60 L/s Noble 泵控制器 |
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1600 L/s 組合泵
排氣速度/排氣流量 | 見(jiàn)圖3 |
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工作壓力范圍 | 10 -1 Pa 至 10 -9 Pa |
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烘烤溫度 | 最高250℃ |
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大量的 | 約35公斤 |
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進(jìn)氣法蘭 | 進(jìn)口法蘭 φ253ICF法蘭 |
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內(nèi)容積 | 約15.5升 |
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適用控制裝置 | 922-9119 升華泵控制器和 PIC-052NP 20/60 L/s Noble 泵控制器 |
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制造設(shè)備
在存儲(chǔ)器等集成半導(dǎo)體的布線和晶體管的基板上形成薄膜的半導(dǎo)體器件制造設(shè)備;在基板上形成硬盤磁頭、磁盤、磁傳感器等的薄膜的存儲(chǔ)設(shè)備。通過(guò)提供制造設(shè)備和在基板上沉積薄膜以形成 LED 和功率器件等分立半導(dǎo)體的設(shè)備,促進(jìn)社會(huì)的發(fā)展。
成分
佳能ANELVA提供的部件被包括薄膜制造商在內(nèi)的制造公司和研發(fā)機(jī)構(gòu)用作處理真空技術(shù)的設(shè)備的重要部件和設(shè)備。
佳能ANELVA的真空技術(shù)有助于設(shè)備和測(cè)量設(shè)備的穩(wěn)定性。
維修保養(yǎng)服務(wù)
基于與客戶的密切溝通,佳能 ANELVA 提供的服務(wù)可幫助我們的設(shè)備和產(chǎn)品展示并保持高性能。
我們?yōu)榭蛻籼峁┳罴训木S護(hù)服務(wù),包括定期維護(hù)、維修、大修、零件清潔和設(shè)備改造。
新業(yè)務(wù)(合同)
我們的制造能力是我們多年培育的真空鍍膜技術(shù)以及鏈接制造、生產(chǎn)管理、采購(gòu)、質(zhì)量控制的綜合實(shí)力,為質(zhì)量、性能提升、成本降低等改進(jìn)做出貢獻(xiàn)。