日本原裝CANON-ANELVA佳能400 L/s 組合泵組合泵將鈦升華泵和三極離子泵（貴族泵）組合在一起，利用離子泵輕松產(chǎn)生清潔超高真空的能力，并實(shí)現(xiàn)高抽速，價(jià)格便宜。成分特征目的氣相沉積設(shè)備、電子顯微鏡、質(zhì)譜儀、真空爐、各種分析設(shè)備、實(shí)驗(yàn)設(shè)備、排氣設(shè)備以及其他釋放大量氣體的超高真空系統(tǒng)。規(guī)格特征抽速大每抽速1L/s的價(jià)格（包括控制裝置的價(jià)格）約為離子泵的1/2至1/3。與相同抽速的離子泵相比，
日本原裝CANON-ANELVA佳能400 L/s 組合泵
組合泵將鈦升華泵和三極離子泵（貴族泵）組合在一起，利用離子泵輕松產(chǎn)生清潔超高真空的能力，并實(shí)現(xiàn)高抽速，價(jià)格便宜。
特征 目的 氣相沉積設(shè)備、電子顯微鏡、質(zhì)譜儀、真空爐、各種分析設(shè)備、實(shí)驗(yàn)設(shè)備、排氣設(shè)備以及其他釋放大量氣體的超高真空系統(tǒng)。 規(guī)格 抽速大成分
特征
每抽速1L/s的價(jià)格（包括控制裝置的價(jià)格）約為離子泵的1/2至1/3。
與相同抽速的離子泵相比，輕便緊湊，體積和重量?jī)H為1/5至1/10。因此，它可以很容易地安裝和從排氣系統(tǒng)中拆卸，并且可以在很小的空間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高排氣速度。400 L/s 組合泵
排氣速度/排氣流量 參考圖1 工作壓力范圍 10 -1 Pa 至 10 -9 Pa 烘烤溫度 最高250℃ 大量的 約15公斤 進(jìn)氣法蘭 φ152ICF法蘭 內(nèi)容積 4.5升 適用控制裝置 922-9119 升華泵控制器和 PIC-052NP 20/60 L/s Noble 泵控制器 
800 L/s 組合泵
排氣速度/排氣流量 見(jiàn)圖2 工作壓力范圍 10 -1 Pa 至 10 -9 Pa 烘烤溫度 最高250℃ 大量的 約25公斤 進(jìn)氣法蘭 φ203ICF法蘭 內(nèi)容積 約7.5升 適用控制裝置 922-9119 升華泵控制器和 PIC-052NP 20/60 L/s Noble 泵控制器 
1600 L/s 組合泵
排氣速度/排氣流量 見(jiàn)圖3 工作壓力范圍 10 -1 Pa 至 10 -9 Pa 烘烤溫度 最高250℃ 大量的 約35公斤 進(jìn)氣法蘭 進(jìn)口法蘭 φ253ICF法蘭 內(nèi)容積 約15.5升 適用控制裝置 922-9119 升華泵控制器和 PIC-052NP 20/60 L/s Noble 泵控制器 
