玉崎供應(yīng)CANON-ANELVA佳能真空離子泵控制器P-511 NP、玉崎供應(yīng)CANON-ANELVA佳能真空離子泵P-521 IPCANON-ANELVA佳能真空離子泵/Noble泵控制裝置P-500、CANON-ANELVA佳能真空離子泵/Noble泵控制裝置P-511 IP是在10 -2 Pa～10 -4 Pa以下的高真空下操作離子泵或惰性泵的控制裝置。顯示屏采用大型綠色 LED 來提高遠(yuǎn)距
玉崎供應(yīng)CANON-ANELVA佳能真空離子泵控制器P-511 NP、玉崎供應(yīng)CANON-ANELVA佳能真空離子泵P-521 IP
CANON-ANELVA佳能真空離子泵/Noble泵控制裝置P-500、CANON-ANELVA佳能真空離子泵/Noble泵控制裝置 P-511 IP
是在10 -2 Pa～10 -4 Pa以下的高真空下操作離子泵或惰性泵的控制裝置。
顯示屏采用大型綠色 LED 來提高遠(yuǎn)距離可視性。
在考慮與以前型號(hào)的兼容性的同時(shí)，我們實(shí)現(xiàn)了改進(jìn)的功能以及 CE 和 RoHS 合規(guī)性。
除了豐富的I/O功能外，還可以通過添加選件板來支持RS232C通信，非常適合自動(dòng)化設(shè)備和遠(yuǎn)程控制設(shè)備。
離子泵和惰性泵有兩種類型：超高真空型和高輸出型，可操作壓力范圍和啟動(dòng)壓力根據(jù)所連接的泵而變化。
實(shí)現(xiàn)了高壓 兼容 高兼容性 通訊兼容 符合標(biāo)準(zhǔn) 目的： 電子顯微鏡、電子束光刻設(shè)備 離子束設(shè)備、掩模修復(fù)設(shè)備 存儲(chǔ)環(huán)、光束線等加速器相關(guān)系統(tǒng) MBE、表面分析設(shè)備等超高真空設(shè)備、各種分析設(shè)備等成
特征
電源所需的高水平基本功能，例如提高了監(jiān)測(cè)高性能電流和電壓值時(shí)的最小可顯示值、增加了壓力顯示以及各種保護(hù)功能兼容硬制程
各種I/O標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備的外部控制，包括兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)設(shè)定點(diǎn)、斷電自動(dòng)恢復(fù)（可選）
確保遠(yuǎn)程連接器、輸入電纜和輸出電纜與之前型號(hào)的兼容性
RS232C（可選（工廠內(nèi)置兼容））
CE 標(biāo)志，符合 RoHS 指令離子泵控制裝置
型號(hào)名稱 P-511 IP P-521 IP 姓名 離子泵控制裝置 兼容泵 所有離子泵 最大輸出電壓 DC+5.2 KV ±10%/DC+7.5 KV ±10%/DC+3.5 KV ±10%
可在程序模式下切換最大輸出電流 43毫安或以上 170mA以上 輸入電壓 AC90至250 V 50/60 Hz單相（多電壓輸入） 能量消耗 最大約500VA 外形尺寸 W209 x H99 x D370 mm（1/2 機(jī)架尺寸） 大量的 約 6 Kg（未安裝可選板） 工作溫度/濕度 0～40℃/85%RH以下（無結(jié)露） 使用環(huán)境 室內(nèi)使用/海拔2000m以下/污染等級(jí)：2級(jí)/安裝類別：II 顯示范圍 輸出電壓 0.1×10 3 V（0.1KV）至8.0×10 3V（8.0KV） 輸出電流 0.1×10 -7 A (10 nA) 至 5.0×10 -1 A (500 mA) 壓力 1.1×10 -9～ 1.0×10 -3 Pa
（顯示范圍根據(jù)所連接的泵而變化）
1 L/s和8 L/s無顯示功能保護(hù)功能 配備各種保護(hù)功能。當(dāng)保護(hù)功能啟動(dòng)時(shí)，顯示屏上會(huì)顯示錯(cuò)誤和編號(hào)。 壓力接觸 1μA～99mA范圍內(nèi)可設(shè)定2點(diǎn) 遠(yuǎn)程模式 可使用前面板上的 REMOTE 開關(guān)切換 REMOTE/LOCAL。 一致 CE 標(biāo)志、RoHS 貴族泵控制裝置
型號(hào)名稱 P-511 NP P-521 NP 姓名 貴族泵控制裝置 兼容泵 所有 Noble 泵、Excel 泵、組合泵 最大輸出電壓 DC-5.2 KV ±10%/DC-7.0 KV ±10%
可在程序模式下切換最大輸出電流 43毫安或以上 170mA以上 輸入電壓 AC90至250 V 50/60 Hz單相（多電壓輸入） 能量消耗 最大約 500 VA 外形尺寸 W209 x H99 x D370 mm（1/2 機(jī)架尺寸） 大量的 約6Kg（未安裝可選板） 工作溫度/濕度 0～40℃/85%RH以下（無結(jié)露） 使用環(huán)境 室內(nèi)使用/海拔2000米以下/污染等級(jí)：2/安裝類別：II 顯示范圍 輸出電壓 0.1×10 3 V（0.1KV）至8.0×10 3V（8.0KV） 輸出電流 0.1×10 -7 A (10 nA) 至 5.0×10 -1 A (500 mA) 壓力 1.1×10 -9～ 1.0×10 -3 Pa
（顯示范圍根據(jù)所連接的泵而變化）保護(hù)功能 配備各種保護(hù)功能。當(dāng)保護(hù)功能啟動(dòng)時(shí)，顯示屏上會(huì)顯示錯(cuò)誤和編號(hào)。 壓力接觸 1μA～99mA范圍內(nèi)可設(shè)定2點(diǎn) 遠(yuǎn)程模式 可使用前面板上的 REMOTE 開關(guān)切換 REMOTE/LOCAL。 一致 CE 標(biāo)志、RoHS