CANON-ANELVA佳能真空離子泵/Noble泵控制裝置P-500、CANON-ANELVA佳能真空離子泵/Noble泵控制裝置P-511 IP是在10 -2 Pa～10 -4 Pa以下的高真空下操作離子泵或惰性泵的控制裝置。顯示屏采用大型綠色 LED 來提高遠(yuǎn)距離可視性。在考慮與以前型號的兼容性的同時，我們實(shí)現(xiàn)了改進(jìn)的功能以及 CE 和 RoHS 合規(guī)性。除了豐富的I/O功能外，還可以通過添
CANON-ANELVA佳能真空離子泵/Noble泵控制裝置P-500、CANON-ANELVA佳能真空離子泵/Noble泵控制裝置 P-511 IP
是在10 -2 Pa～10 -4 Pa以下的高真空下操作離子泵或惰性泵的控制裝置。
顯示屏采用大型綠色 LED 來提高遠(yuǎn)距離可視性。
在考慮與以前型號的兼容性的同時，我們實(shí)現(xiàn)了改進(jìn)的功能以及 CE 和 RoHS 合規(guī)性。
除了豐富的I/O功能外，還可以通過添加選件板來支持RS232C通信，非常適合自動化設(shè)備和遠(yuǎn)程控制設(shè)備。
離子泵和惰性泵有兩種類型：超高真空型和高輸出型，可操作壓力范圍和啟動壓力根據(jù)所連接的泵而變化。
實(shí)現(xiàn)了高壓
電源所需的高水平基本功能，例如提高了監(jiān)測高性能電流和電壓值時的最小可顯示值、增加了壓力顯示以及各種保護(hù)功能兼容硬制程
兼容
各種I/O標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備的外部控制，包括兩個標(biāo)準(zhǔn)設(shè)定點(diǎn)、斷電自動恢復(fù)（可選）
高兼容性
確保遠(yuǎn)程連接器、輸入電纜和輸出電纜與之前型號的兼容性
通訊兼容
RS232C（可選（工廠內(nèi)置兼容））
符合標(biāo)準(zhǔn)
CE 標(biāo)志，符合 RoHS 指令
目的：
電子顯微鏡、電子束光刻設(shè)備
離子束設(shè)備、掩模修復(fù)設(shè)備
存儲環(huán)、光束線等加速器相關(guān)系統(tǒng)
MBE、表面分析設(shè)備等超高真空設(shè)備、各種分析設(shè)備等
| 型號名稱 | P-511 IP | P-521 IP | |
|---|---|---|---|
| 姓名 | 離子泵控制裝置 | ||
| 兼容泵 | 所有離子泵 | ||
| 最大輸出電壓 | DC+5.2 KV ±10%/DC+7.5 KV ±10%/DC+3.5 KV ±10% 可在程序模式下切換 | ||
| 最大輸出電流 | 43毫安或以上 | 170mA以上 | |
| 輸入電壓 | AC90至250 V 50/60 Hz單相（多電壓輸入） | ||
| 能量消耗 | 最大約500VA | ||
| 外形尺寸 | W209 x H99 x D370 mm（1/2 機(jī)架尺寸） | ||
| 大量的 | 約 6 Kg（未安裝可選板） | ||
| 工作溫度/濕度 | 0～40℃/85%RH以下（無結(jié)露） | ||
| 使用環(huán)境 | 室內(nèi)使用/海拔2000m以下/污染等級：2級/安裝類別：II | ||
| 顯示范圍 | 輸出電壓 | 0.1×10 3 V（0.1KV）至8.0×10 3V（8.0KV） | |
| 輸出電流 | 0.1×10 -7 A (10 nA) 至 5.0×10 -1 A (500 mA) | ||
| 壓力 | 1.1×10 -9～ 1.0×10 -3 Pa （顯示范圍根據(jù)所連接的泵而變化） 1 L/s和8 L/s無顯示功能 | ||
| 保護(hù)功能 | 配備各種保護(hù)功能。當(dāng)保護(hù)功能啟動時，顯示屏上會顯示錯誤和編號。 | ||
| 壓力接觸 | 1μA～99mA范圍內(nèi)可設(shè)定2點(diǎn) | ||
| 遠(yuǎn)程模式 | 可使用前面板上的 REMOTE 開關(guān)切換 REMOTE/LOCAL。 | ||
| 一致 | CE 標(biāo)志、RoHS | ||
| 型號名稱 | P-511 NP | P-521 NP | |
|---|---|---|---|
| 姓名 | 貴族泵控制裝置 | ||
| 兼容泵 | 所有 Noble 泵、Excel 泵、組合泵 | ||
| 最大輸出電壓 | DC-5.2 KV ±10%/DC-7.0 KV ±10% 可在程序模式下切換 | ||
| 最大輸出電流 | 43毫安或以上 | 170mA以上 | |
| 輸入電壓 | AC90至250 V 50/60 Hz單相（多電壓輸入） | ||
| 能量消耗 | 最大約 500 VA | ||
| 外形尺寸 | W209 x H99 x D370 mm（1/2 機(jī)架尺寸） | ||
| 大量的 | 約6Kg（未安裝可選板） | ||
| 工作溫度/濕度 | 0～40℃/85%RH以下（無結(jié)露） | ||
| 使用環(huán)境 | 室內(nèi)使用/海拔2000米以下/污染等級：2/安裝類別：II | ||
| 顯示范圍 | 輸出電壓 | 0.1×10 3 V（0.1KV）至8.0×10 3V（8.0KV） | |
| 輸出電流 | 0.1×10 -7 A (10 nA) 至 5.0×10 -1 A (500 mA) | ||
| 壓力 | 1.1×10 -9～ 1.0×10 -3 Pa （顯示范圍根據(jù)所連接的泵而變化） | ||
| 保護(hù)功能 | 配備各種保護(hù)功能。當(dāng)保護(hù)功能啟動時，顯示屏上會顯示錯誤和編號。 | ||
| 壓力接觸 | 1μA～99mA范圍內(nèi)可設(shè)定2點(diǎn) | ||
| 遠(yuǎn)程模式 | 可使用前面板上的 REMOTE 開關(guān)切換 REMOTE/LOCAL。 | ||
| 一致 | CE 標(biāo)志、RoHS | ||