KOFLOC科賦樂(lè) 氣體質(zhì)量流量計(jì)MODEL 3100 SERIESMODEL 3100系列是基于MODEL 3200系列開(kāi)發(fā)的用于高精度流量測(cè)量的新型質(zhì)量流量計(jì)。這種高級(jí)型號(hào)采用新型低壓力毛細(xì)管流量傳感器，可確保高速響應(yīng)和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。配備溫度跟蹤式電流差檢測(cè)型流量傳感器，實(shí)現(xiàn)高精度，高速響應(yīng)F.S.1 SCCM微流量支持（SR選項(xiàng)）流量范圍（N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM）1SCCM~20SL
KOFLOC科賦樂(lè) 氣體質(zhì)量流量計(jì)MODEL 3100 SERIES
MODEL 3100系列是基于MODEL 3200系列
開(kāi)發(fā)的用于高精度流量測(cè)量的新型質(zhì)量流量計(jì)。
這種高級(jí)型號(hào)采用新型低壓力毛細(xì)管流量傳感器，
可確保高速響應(yīng)和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。
配備溫度跟蹤式電流差檢測(cè)型流量傳感器，
實(shí)現(xiàn)高精度，高速響應(yīng)
F.S.1 SCCM微流量支持（SR選項(xiàng)）
| 流量范圍 （N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM） | 1SCCM~20SLM（可選） |
|---|---|
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 |
| 響應(yīng)速度 | 1秒內(nèi) |
| 準(zhǔn)確性 | ±1％FS（15~35°C） |
| 再現(xiàn)性 | 在±0.2％FS（20°C）內(nèi) |
| 耐壓 | 980kPa（G） |
| He泄漏率（* 1） | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 |
| 允許周?chē)鷾囟?/th> | 0~50℃ |
| 允許環(huán)境濕度 | 10~90%RH（無(wú)結(jié)露） |
| 氣體接觸材料 | 車(chē)身SUS316L |
| 密封材料FKM（選件CR或NBR或Kallets） | |
| 電氣連接 | Dsub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)） |
| 流量輸出信號(hào) | 0~5 VDC（外部負(fù)載電阻250kΩ以上） |
| 所需電源 | +15 VDC（±5％）100 mA -15 VDC（±5％）100 mA |
| 接頭 （體型） | 標(biāo)準(zhǔn)1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF） 選項(xiàng)1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等 |
| 重量 | 約800g |