西村電機(jī) 脫氣、氣相沉積設(shè)備 鼓風(fēng)機(jī) SF-3700R格式直徑輸出功率電源電壓頻率電流轉(zhuǎn)速最大風(fēng)壓最大風(fēng)量質(zhì)量（毫米）（千瓦）（V）（赫茲）（安）（分-1）（kPa）（m3 / min）（公斤）SF-400φ320.33φ200501.5292017 號0.7150.4601.73475220.8SF-750E0.5502.42920270.9190.756033445351SF-2000Rφ3
西村電機(jī) 脫氣、氣相沉積設(shè)備 鼓風(fēng)機(jī) SF-3700R
| 格式 | 直徑 | 輸出功率 | 電源電壓 | 頻率 | 電流 | 轉(zhuǎn)速 | 最大風(fēng)壓 | 最大風(fēng)量 | 質(zhì)量 |
| （毫米） | （千瓦） | （V） | （赫茲） | （安） | （分-1） | （kPa） | （m3 / min） | （公斤） | |
| SF-400 | φ32 | 0.3 | 3φ200 | 50 | 1.5 | 2920 | 17 號 | 0.7 | 15 |
| 0.4 | 60 | 1.7 | 3475 | 22 | 0.8 | ||||
| SF-750E | 0.5 | 50 | 2.4 | 2920 | 27 | 0.9 | 19 | ||
| 0.75 | 60 | 3 | 3445 | 35 | 1 | ||||
| SF-2000R | φ38 | 1.3 | 50 | 5.4 | 2930 | 40 | 1.5 | 33 | |
| 1.9 | 60 | 7.4 | 3450 | 51 | 1.6 | ||||
| SF-3700R | 2.1 | 50 | 11 | 2920 | 50 | 1.7 | 48 | ||
| 3.1 | 60 | 11.5 | 3450 | 61 | 1.75 | ||||
| SF-5500R | φ50 | 2.6 | 50 | 12 | 2950 | 37 | 3.4 | 55 | |
| 4 | 60 | 15 | 3510 | 47 | 3.8 | ||||
| SF-7500R | 3.7 | 50 | 15 | 2940 | 41 | 5 | 94 | ||
| 6 | 60 | 22 | 3510 | 52 | 5.4 |