SAKAGUCHI 石墨材料 用于半導(dǎo)體DFP-1特征以高純度（100 級清潔度）制造的產(chǎn)品非常適合需要清潔環(huán)境的半導(dǎo)體行業(yè)。該產(chǎn)品不會被結(jié)構(gòu)清洗過程中使用的氫氟酸溶液或強酸性腐蝕性氣體腐蝕，是石英等的理想替代品?？稍诟邷叵率褂迷诙栊詺夥罩锌墒褂酶哌_ 2500°C，在大氣中可使用高達 510°C。塔板、儀表板等部件被制成可更換的單元，因此即使板的一部分損壞，也可以更換，經(jīng)濟。成績DFP-1DFP-
SAKAGUCHI 石墨材料 用于半導(dǎo)體DFP-1
特征
以高純度（100 級清潔度）制造的產(chǎn)品非常適合需要清潔環(huán)境的半導(dǎo)體行業(yè)。
該產(chǎn)品不會被結(jié)構(gòu)清洗過程中使用的氫氟酸溶液或強酸性腐蝕性氣體腐蝕，是石英等的理想替代品。
可在高溫下使用
在惰性氣氛中可使用高達 2500°C，在大氣中可使用高達 510°C。
塔板、儀表板等部件被制成可更換的單元，因此即使板的一部分損壞，也可以更換，經(jīng)濟。
| 成績 | DFP-1 | DFP-2 | DFP-3 | |
|---|---|---|---|---|
| 強度（室溫） | 壓縮（公斤/平方厘米） | 1,500 人 | ||
| 彎曲度（公斤/平方厘米） | 900 | |||
| 拉伸力（公斤/平方厘米） | 700 | |||
| 硬度 | 77 | |||
| 平均粒徑（μm） | <4 | |||
| 電阻率（21℃）（μΩcm） | 1,350 人 | |||
| 導(dǎo)熱系數(shù)（21℃）（kcal/mh℃） | 104 | |||
| 熱膨脹系數(shù)（RT-1000℃）（×10h -6h /℃） | 8.4 | |||
| 平均孔徑（μm） | 0.8 | 0.8 | 0.3 | |
| 平均密度（g/cm 2） | 1.82 | 1.82 | 1.86 | |
| 氧化開始(℃) | 460 | 510 | 470 | |
| ppm-總灰分 | 700 | <5 | 700 | |