多功能激光平面瞬時加熱裝置EXL-CT-010-DS55
多功能激光平面瞬時加熱裝置EXL-CT-010-DS55特征快速加熱和冷卻成為可能一次性均勻加熱 2 英寸基板可僅對被加熱物進行直接加熱可以控制適合工藝的溫度無需加熱大氣即可實現(xiàn)節(jié)能應(yīng)用實例MBE 設(shè)備的基材加熱晶圓退火（SiC、GaAs等）可進行多層結(jié)構(gòu)器件的表層退火（適用于小型化器件）
多功能激光平面瞬時加熱裝置EXL-CT-010-DS55
特征
快速加熱和冷卻成為可能
一次性均勻加熱 2 英寸基板
可僅對被加熱物進行直接加熱
可以控制適合工藝的溫度
無需加熱大氣即可實現(xiàn)節(jié)能
應(yīng)用實例
MBE 設(shè)備的基材加熱
晶圓退火（SiC、GaAs等）
可進行多層結(jié)構(gòu)器件的表層退火（適用于小型化器件）