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HORIBA堀場

日本 HORIBA堀場 光纖化學濃度監(jiān)測儀CS-100系列

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日本 HORIBA堀場 光纖化學濃度監(jiān)測儀CS-100系列

化學濃度監(jiān)測儀

CS-100系列

HNO3/HF 監(jiān)測器、KOH/IPA 監(jiān)測器、NaOH/IPA 監(jiān)測器、HF 監(jiān)測器

對于那些需要濕法過程化學濃度測量的人

HNO 3 /HF 監(jiān)測
KOH/IPA 監(jiān)測
NaOH/IPA 監(jiān)測
HF 監(jiān)測

工藝:用于形成紋理結構的濕法蝕刻工藝

通過測量紋理結構形成過程中的化學物質(zhì)濃度,有助于工藝優(yōu)化,這是實現(xiàn)提高轉換效率和更薄晶圓的關鍵技術。

目的

  • 通過連續(xù)測量化學品來優(yōu)化流程

  • 通過延長化學品的使用壽命來減少消耗

  • 減少批次缺陷并提高產(chǎn)品良率


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