加壓調(diào)整裝置高壓型高純氣體用 R61SS加壓調(diào)整裝置高壓型高純氣體用 R61SS產(chǎn)品特點(diǎn)R61系列是針對(duì)高壓型高純氣體而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。它是舊ERS系列的繼承者，具有內(nèi)置過(guò)濾器和螺紋本體連接形狀的基本結(jié)構(gòu)。車身插焊支持 UJR 等焊接接頭規(guī)格。 規(guī)格入口壓力14.8MPa以下（最大19.6MPa）調(diào)節(jié)壓力最大0.99MPa（范圍規(guī)格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99M
加壓調(diào)整裝置高壓型高純氣體用 R61SS
加壓調(diào)整裝置高壓型高純氣體用 R61SS
產(chǎn)品特點(diǎn)
R61系列是針對(duì)高壓型高純氣體而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。
它是舊ERS系列的繼承者，具有內(nèi)置過(guò)濾器和螺紋本體連接形狀的基本結(jié)構(gòu)。
車身插焊支持 UJR 等焊接接頭規(guī)格。
規(guī)格
| 入口壓力 | 14.8MPa以下（最大19.6MPa） |
| 調(diào)節(jié)壓力 | 最大0.99MPa （范圍規(guī)格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa） |
| 氣源壓力波動(dòng) | 入口壓力：調(diào)節(jié)壓力每0.1MPa變化0.001MPa |
| 承受壓力 | 22.2MPa（入口側(cè)） |
| Cv值 | 0.31 |
| 工作溫度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 螺紋規(guī)格（P）：1×10-9Pa·m3/s·He（真空法） 焊接規(guī)格（W）：1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） （等級(jí)“C”） 24小時(shí)充氮?dú)鉁y(cè)試） |
| 內(nèi)部容積 | 25.3cm（不含3個(gè)壓力表及配件） |
| 大量的 | 約2.0公斤 |
| 安裝方法 | 使用前面板安裝螺母或后螺釘安裝 |