玉崎供應YUTAKA 中低壓標準流量型加壓調整器 L35SS-NH3玉崎供應YUTAKA 中低壓標準流量型加壓調整器 L35SS-NH3產品特點L35系列專為低壓和中壓半導體工藝制造氣體而設計，其基本結構為外部金屬密封和焊接接頭，具有優(yōu)異的外部泄漏和顆粒性能。由于流量范圍有所增加，因此它非常適合為具有 3/8 尺寸管道的設備供電的閥箱和連接裝置。 規(guī)格入口壓力6MPa以下調節(jié)壓力最大0.9MPa（
玉崎供應YUTAKA 中低壓標準流量型加壓調整器 L35SS-NH3
玉崎供應YUTAKA 中低壓標準流量型加壓調整器 L35SS-NH3
產品特點
L35系列專為低壓和中壓半導體工藝制造氣體而設計，其基本結構為外部金屬密封和焊接接頭，具有優(yōu)異的外部泄漏和顆粒性能。由于流量范圍有所增加，因此它非常適合為具有 3/8 尺寸管道的設備供電的閥箱和連接裝置。
規(guī)格
| 入口壓力 | 6MPa以下 |
| 調節(jié)壓力 | 最大0.9MPa （范圍規(guī)格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.9MPa） |
| 氣源壓力波動 | 入口壓力：調節(jié)壓力每0.1MPa變化0.0007MPa |
| 承受壓力 | 9 MPa（入口側） |
| Cv值 | 0.21 |
| 工作溫度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 1×10－11Pa?m3/s?He（真空法） |
| 內部容積 | 11.3cm（不含3個壓力表及配件） |
| 重量 | 約1.9公斤 |
| 安裝方法 | 使用前面板安裝螺母或后螺釘安裝 |