YUTAKA宇高工程 加壓調(diào)整器中低壓標準流量型 L26SS-NH3YUTAKA宇高工程 加壓調(diào)整器中低壓標準流量型 L26SS-NH3產(chǎn)品特點L26系列是針對低中壓半導體工藝制造氣體而設計的，是比L25產(chǎn)品基本性能有所提高的過渡產(chǎn)品，基本結(jié)構為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)格。該產(chǎn)品具有優(yōu)異的外泄漏和顆粒性能，是設備供應中閥箱和連接裝置的理想選擇。規(guī)格入口壓力6MPa以下調(diào)節(jié)壓力最大0.99MPa（范
YUTAKA宇高工程 加壓調(diào)整器中低壓標準流量型 L26SS-NH3
YUTAKA宇高工程 加壓調(diào)整器中低壓標準流量型 L26SS-NH3
產(chǎn)品特點
L26系列是針對低中壓半導體工藝制造氣體而設計的，是比L25產(chǎn)品基本性能有所提高的過渡產(chǎn)品，基本結(jié)構為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)格。該產(chǎn)品具有優(yōu)異的外泄漏和顆粒性能，是設備供應中閥箱和連接裝置的理想選擇。
規(guī)格
| 入口壓力 | 6MPa以下 |
| 調(diào)節(jié)壓力 | 最大0.99MPa （范圍規(guī)格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa） |
| 氣源壓力波動 | 入口壓力：調(diào)節(jié)壓力每0.1MPa變化0.001MPa |
| 承受壓力 | 一次側(cè)22.2MPa |
| Cv值 | 0.21 |
| 工作溫度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 1×10－11Pa·m3/s·He（真空法） |
| 內(nèi)部容積 | 4.75cm（不含3個壓力表及配件） |
| 重量 | 1公斤 |
| 安裝方法 | 后部螺絲安裝 |