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絕壓型真空調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu) L96SH 玉崎供應(yīng)YUTAKA

絕壓型真空調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu) L96SH 玉崎供應(yīng)YUTAKA絕壓型真空調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu) L96SH 玉崎供應(yīng)YUTAKA產(chǎn)品特點(diǎn)L96系列是專為半導(dǎo)體工藝制造氣體設(shè)計(jì)的具有真空調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品。最適合低蒸氣壓氣體?;窘Y(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)格,是具有優(yōu)良的外部泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。規(guī)格入口壓力0.99MPa以下調(diào)節(jié)壓力-0.1MPa~0~0.2MPa承受壓力22.2MPa(入口側(cè))Cv值0.07工作溫度-1

  • 型號(hào): L96SH

絕壓型真空調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu) L96SH 玉崎供應(yīng)YUTAKA

絕壓型真空調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu) L96SH 玉崎供應(yīng)YUTAKA


產(chǎn)品特點(diǎn)

L96系列是專為半導(dǎo)體工藝制造氣體設(shè)計(jì)的具有真空調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品。最適合低蒸氣壓氣體?;窘Y(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)格,是具有優(yōu)良的外部泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。


規(guī)格


入口壓力0.99MPa以下
調(diào)節(jié)壓力-0.1MPa~0~0.2MPa
承受壓力22.2MPa(入口側(cè))
Cv值0.07
工作溫度-10 至 +40°C
外漏1×10-11Pa·m3/s·He(真空法)
內(nèi)部容積5.739 cm(不含3個(gè)壓力表和配件)
重量約1.6公斤
安裝方法背面用螺絲安裝(見外圖)


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