YUTAKA宇高工程 壓力調(diào)節(jié)器兩級(jí)減壓結(jié)構(gòu) L88SSYUTAKA宇高工程 壓力調(diào)節(jié)器兩級(jí)減壓結(jié)構(gòu) L88SS產(chǎn)品特點(diǎn)L88系列是針對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)氣體B2H6設(shè)計(jì)的產(chǎn)品，采用兩級(jí)減壓結(jié)構(gòu)。作為抑制B2H6減壓生成產(chǎn)物的措施，中間壓力為3MPa，調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)為平密封型，采用PCTF調(diào)節(jié)閥座來(lái)抑制缺陷。它也非常適合絕熱膨脹變化較大的 NF3。 規(guī)格入口壓力14.8MPa以下調(diào)節(jié)壓力最大0.99MPa（范
YUTAKA宇高工程 壓力調(diào)節(jié)器兩級(jí)減壓結(jié)構(gòu) L88SS
YUTAKA宇高工程 壓力調(diào)節(jié)器兩級(jí)減壓結(jié)構(gòu) L88SS
產(chǎn)品特點(diǎn)
L88系列是針對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)氣體B2H6設(shè)計(jì)的產(chǎn)品，采用兩級(jí)減壓結(jié)構(gòu)。作為抑制B2H6減壓生成產(chǎn)物的措施，中間壓力為3MPa，調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)為平密封型，采用PCTF調(diào)節(jié)閥座來(lái)抑制缺陷。它也非常適合絕熱膨脹變化較大的 NF3。
規(guī)格
| 入口壓力 | 14.8MPa以下 |
| 調(diào)節(jié)壓力 | 最大0.99MPa （范圍規(guī)格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa） |
| 氣源壓力波動(dòng) | 入口壓力：調(diào)節(jié)壓力每0.1MPa變化0.00075MPa |
| 承受壓力 | 22.2MPa（入口側(cè)） |
| Cv值 | 0.08 |
| 工作溫度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 1×10－11Pa?m3/s?He（真空法） |
| 內(nèi)部容積 | 12.58cm（不含3個(gè)壓力表及配件） |
| 重量 | 約2.4公斤 |
| 安裝方法 | 使用螺母安裝，可在正面和背面進(jìn)行面板安裝 |