YUTAKA宇高工程 標準流量型壓力控制器 L81SHYUTAKA宇高工程 標準流量型壓力控制器 L81SH產(chǎn)品特點L81系列是專為半導體工藝制造氣體設計的產(chǎn)品，具有兩級減壓結(jié)構(gòu)。基本結(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)格，是具有優(yōu)良的外部泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。由于具有兩級減壓結(jié)構(gòu)，不易受原始壓力波動的影響，可以獲得穩(wěn)定的壓力和流量，也非常適合因絕熱膨脹而溫降較大的液化氣體。 規(guī)格入口壓力14.8MPa
YUTAKA宇高工程 標準流量型壓力控制器 L81SH
YUTAKA宇高工程 標準流量型壓力控制器 L81SH
產(chǎn)品特點
L81系列是專為半導體工藝制造氣體設計的產(chǎn)品，具有兩級減壓結(jié)構(gòu)?；窘Y(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)格，是具有優(yōu)良的外部泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。由于具有兩級減壓結(jié)構(gòu)，不易受原始壓力波動的影響，可以獲得穩(wěn)定的壓力和流量，也非常適合因絕熱膨脹而溫降較大的液化氣體。
規(guī)格
| 入口壓力 | 14.8MPa以下（最大19.6MPa） |
| 調(diào)節(jié)壓力 | 最大0.99MPa （范圍規(guī)格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.8MPa、0～0.99MPa） |
| 氣源壓力波動 | 入口壓力：調(diào)節(jié)壓力每0.1MPa變化0.000007MPa |
| 承受壓力 | 22.2MPa（入口側(cè)） |
| Cv值 | 0.03 |
| 工作溫度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 1×10－11Pa?m3/s?He（真空法） |
| 內(nèi)部容積 | 8.9cm（不含3個壓力表及配件） |
| 重量 | 約2.0公斤 |
| 安裝方法 | 使用螺母安裝，可在正面和背面進行面板安裝 |