日本 LINTEC琳得科 紫外線照射裝置 RAD-2010F/121. 緊湊且高吞吐量用于 300 毫米和 200 毫米晶圓的機(jī)器，配有集成裝載機(jī)和卸載機(jī)。一體型使機(jī)器尺寸變得緊湊，并通過兩條工作路徑實(shí)現(xiàn)高生產(chǎn)量。2. 高品質(zhì)、高性能這是由UV固化切割膠帶領(lǐng)先公司開發(fā)的高性能機(jī)器。使用高輸出紫外線燈優(yōu)化照度和光強(qiáng)度、檢查每個(gè)晶圓加工的光強(qiáng)度以及在防止氧抑制的環(huán)境中進(jìn)行紫外線照射等功能*，使膠帶能夠
日本 LINTEC琳得科 紫外線照射裝置 RAD-2010F/12
1. 緊湊且高吞吐量
用于 300 毫米和 200 毫米晶圓的機(jī)器，配有集成裝載機(jī)和卸載機(jī)。一體型使機(jī)器尺寸變得緊湊，并通過兩條工作路徑實(shí)現(xiàn)高生產(chǎn)量。
2. 高品質(zhì)、高性能
這是由UV固化切割膠帶領(lǐng)先公司開發(fā)的高性能機(jī)器。使用高輸出紫外線燈優(yōu)化照度和光強(qiáng)度、檢查每個(gè)晶圓加工的光強(qiáng)度以及在防止氧抑制的環(huán)境中進(jìn)行紫外線照射等功能*，使膠帶能夠充分發(fā)揮其潛力。
*為了消除抑制UV固化的氧氣，晶片室充滿氮?dú)獠⒄丈銾V。
3. 操作舒適、安全
采用大觸摸屏，方便使用。根據(jù) SEMI 安全準(zhǔn)則，從設(shè)計(jì)和組裝階段就提高了機(jī)器操作和維護(hù)的安全性。
兼容CE標(biāo)志
四。裝配過程自動(dòng)化
通過主機(jī)通信功能和在線系統(tǒng)的結(jié)合，實(shí)現(xiàn)了全過程的FA（工廠自動(dòng)化）。