L62SH 高壓高流量壓力調(diào)節(jié)器 YUTAKA宇高工程L62SH 高壓高流量壓力調(diào)節(jié)器 YUTAKA宇高工程產(chǎn)品特點(diǎn)L62系列專(zhuān)為高壓、高流量半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計(jì)，基本結(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)格，具有優(yōu)異的外部泄漏和顆粒性能。該產(chǎn)品增加了流量，是氣瓶柜的理想選擇。我們的L61系列的針結(jié)構(gòu)類(lèi)型（面對(duì)面尺寸相同）。閥座材料可根據(jù)使用氣體選擇。 規(guī)格適用氣體高純氣體入口壓力14.8MPa以下（
L62SH 高壓高流量壓力調(diào)節(jié)器 YUTAKA宇高工程
L62SH 高壓高流量壓力調(diào)節(jié)器 YUTAKA宇高工程
產(chǎn)品特點(diǎn)
L62系列專(zhuān)為高壓、高流量半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計(jì)，基本結(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)格，具有優(yōu)異的外部泄漏和顆粒性能。該產(chǎn)品增加了流量，是氣瓶柜的理想選擇。
我們的L61系列的針結(jié)構(gòu)類(lèi)型（面對(duì)面尺寸相同）。
閥座材料可根據(jù)使用氣體選擇。
規(guī)格
| 適用氣體 | 高純氣體 |
| 入口壓力 | 14.8MPa以下（最大19.6MPa） |
| 調(diào)節(jié)壓力 | 最大0.8MPa （范圍規(guī)格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.8MPa） |
| 氣源壓力波動(dòng) | 入口壓力：0.001MPa以下每0.1MPa調(diào)節(jié)壓力變化 |
| 承受壓力 | 22.2MPa（進(jìn)口壓力） |
| Cv值 | 0.11 |
| 工作溫度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 1×10－11Pa·m3/s·He（真空法） |
| 內(nèi)部容積 | 32.3cm（不含3個(gè)壓力表及配件） |
| 重量 | 約4.7公斤 |
| 安裝方法 | 使用前面板安裝螺母或后螺釘安裝 |