大流量型壓力調(diào)節(jié)器 L61SS-CO 日本YUTAKA大流量型壓力調(diào)節(jié)器 L61SS-CO 日本YUTAKA產(chǎn)品特點L61系列專為高壓、大流量的半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計，控制閥采用平密封結(jié)構(gòu)，保證小行程、大流量。 規(guī)格入口壓力14.8MPa以下（最大19.6MPa）調(diào)節(jié)壓力最大0.8MPa（范圍規(guī)格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.8MPa）氣源壓力波動入口壓力：調(diào)節(jié)
大流量型壓力調(diào)節(jié)器 L61SS-CO 日本YUTAKA
大流量型壓力調(diào)節(jié)器 L61SS-CO 日本YUTAKA
產(chǎn)品特點
L61系列專為高壓、大流量的半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計，控制閥采用平密封結(jié)構(gòu)，保證小行程、大流量。
規(guī)格
| 入口壓力 | 14.8MPa以下（最大19.6MPa） |
| 調(diào)節(jié)壓力 | 最大0.8MPa （范圍規(guī)格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.8MPa） |
| 氣源壓力波動 | 入口壓力：調(diào)節(jié)壓力每0.1MPa變化0.0006MPa |
| 承受壓力 | 22.2MPa（入口側(cè)） |
| Cv值 | 0.07 |
| 工作溫度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 1×10－11Pa?m3/s?He（真空法） |
| 內(nèi)部容積 | 32.3cm（不含3個壓力表及配件） |
| 重量 | 約4.7公斤 |
| 安裝方法 | 使用前面板安裝螺母或后螺釘安裝 |