L21SH 高壓標準流量型壓力調(diào)節(jié)器 玉崎供應(yīng)YUTAKAL21SH 高壓標準流量型壓力調(diào)節(jié)器 玉崎供應(yīng)YUTAKA產(chǎn)品特點L21系列是針對高壓型半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計的產(chǎn)品，基本結(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)格，基本性能較L20系列有所提高。該產(chǎn)品具有優(yōu)異的外漏和顆粒性能，是氣瓶柜的理想選擇。規(guī)格入口壓力14.8MPa以下（最大24MPa）調(diào)節(jié)壓力最大0.99MPa（范圍規(guī)格：0～0.2MPa
L21SH 高壓標準流量型壓力調(diào)節(jié)器 玉崎供應(yīng)YUTAKA
L21SH 高壓標準流量型壓力調(diào)節(jié)器 玉崎供應(yīng)YUTAKA
產(chǎn)品特點
L21系列是針對高壓型半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計的產(chǎn)品，基本結(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)格，基本性能較L20系列有所提高。該產(chǎn)品具有優(yōu)異的外漏和顆粒性能，是氣瓶柜的理想選擇。
規(guī)格
| 入口壓力 | 14.8MPa以下（最大24MPa） |
| 調(diào)節(jié)壓力 | 最大0.99MPa （范圍規(guī)格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa） |
| 氣源壓力波動 | 入口壓力：調(diào)節(jié)壓力每0.1MPa變化0.0005MPa以下 |
| 承受壓力 | 31.5MPa（入口側(cè)）、1.5MPa（調(diào)節(jié)側(cè)） |
| Cv值 | 0.09 |
| 工作溫度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 1×10－11Pa?m3/s?He（真空法） |
| 內(nèi)部容積 | 4.75cm（3個壓力表，不含接頭） 4.75cm（3個壓力表，不含接頭） |
| 重量 | 約1.4公斤 |
| 安裝方法 | 后部螺絲安裝 |