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YUTAKA宇高工程

L21SS 高壓標準流量型壓力調節(jié)器 玉崎供應YUTAKA

L21SS 高壓標準流量型壓力調節(jié)器 玉崎供應YUTAKAL21SS 高壓標準流量型壓力調節(jié)器 玉崎供應YUTAKA產品特點L21系列是針對高壓型半導體工藝制造氣體而設計的產品,基本結構為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)格,基本性能較L20系列有所提高。該產品具有優(yōu)異的外漏和顆粒性能,是氣瓶柜的理想選擇。規(guī)格入口壓力14.8MPa以下(最大24MPa)調節(jié)壓力最大0.99MPa(范圍規(guī)格:0~0.2MPa

L21SS 高壓標準流量型壓力調節(jié)器 玉崎供應YUTAKA

L21SS 高壓標準流量型壓力調節(jié)器 玉崎供應YUTAKA


產品特點

L21系列是針對高壓型半導體工藝制造氣體而設計的產品,基本結構為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)格,基本性能較L20系列有所提高。該產品具有優(yōu)異的外漏和顆粒性能,是氣瓶柜的理想選擇。


規(guī)格

入口壓力14.8MPa以下(最大24MPa)
調節(jié)壓力最大0.99MPa
(范圍規(guī)格:0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.99MPa)
氣源壓力波動入口壓力:調節(jié)壓力每0.1MPa變化0.0005MPa以下
承受壓力31.5MPa(入口側)、1.5MPa(調節(jié)側)
Cv值0.09
工作溫度-10 至 +40°C
外漏1×10-11Pa?m3/s?He(真空法)
內部容積4.75cm(3個壓力表,不含接頭) 4.75cm(3個壓力表,不含接頭)
重量約1.4公斤
安裝方法后部螺絲安裝


 


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