L20SS-CO 高壓標準流量型壓力調節(jié)器 YUTAKA宇高工程 L20SS-CO 高壓標準流量型壓力調節(jié)器 YUTAKA宇高工程 產品特點L20系列是針對高壓型半導體工藝制造氣體而設計的產品，基本結構為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)格，是具有優(yōu)異的外部泄漏和顆粒性能的產品。此外，還有多種選項可支持多種高純度氣體，使其成為氣瓶柜的理想選擇。 規(guī)格入口壓力14.8MPa以下（最大19.6MPa）調節(jié)壓力最
L20SS-CO 高壓標準流量型壓力調節(jié)器 YUTAKA宇高工程
L20SS-CO 高壓標準流量型壓力調節(jié)器 YUTAKA宇高工程
產品特點
L20系列是針對高壓型半導體工藝制造氣體而設計的產品，基本結構為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)格，是具有優(yōu)異的外部泄漏和顆粒性能的產品。此外，還有多種選項可支持多種高純度氣體，使其成為氣瓶柜的理想選擇。
規(guī)格
| 入口壓力 | 14.8MPa以下（最大19.6MPa） |
| 調節(jié)壓力 | 最大0.99MPa （范圍規(guī)格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa） |
| 氣源壓力波動 | 入口壓力：調節(jié)壓力每0.1MPa變化0.00021MPa |
| 承受壓力 | 22.2MPa（入口側） |
| Cv值 | 0.09 |
| 工作溫度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 1×10－11Pa·m3/s·He（真空法） |
| 內部容積 | 4.67cm（不含3個壓力表及配件） |
| 大量的 | 約1.29公斤 |
| 安裝方法 | 使用前面板安裝螺母或后螺釘進行安裝（見外觀圖） |