L20SH 高壓標(biāo)準(zhǔn)流量型壓力調(diào)節(jié)器 YUTAKA宇高工程 L20SH 高壓標(biāo)準(zhǔn)流量型壓力調(diào)節(jié)器 YUTAKA宇高工程 產(chǎn)品特點(diǎn)L20系列是針對(duì)高壓型半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品，基本結(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)格，是具有優(yōu)異的外部泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。此外，還有多種選項(xiàng)可支持多種高純度氣體，使其成為氣瓶柜的理想選擇。 規(guī)格入口壓力14.8MPa以下（最大19.6MPa）調(diào)節(jié)壓力最大0.99M
L20SH 高壓標(biāo)準(zhǔn)流量型壓力調(diào)節(jié)器 YUTAKA宇高工程
L20SH 高壓標(biāo)準(zhǔn)流量型壓力調(diào)節(jié)器 YUTAKA宇高工程
產(chǎn)品特點(diǎn)
L20系列是針對(duì)高壓型半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品，基本結(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)格，是具有優(yōu)異的外部泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。此外，還有多種選項(xiàng)可支持多種高純度氣體，使其成為氣瓶柜的理想選擇。
規(guī)格
| 入口壓力 | 14.8MPa以下（最大19.6MPa） |
| 調(diào)節(jié)壓力 | 最大0.99MPa （范圍規(guī)格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa） |
| 氣源壓力波動(dòng) | 入口壓力：調(diào)節(jié)壓力每0.1MPa變化0.00021MPa |
| 承受壓力 | 22.2MPa（入口側(cè)） |
| Cv值 | 0.09 |
| 工作溫度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 1×10－11Pa·m3/s·He（真空法） |
| 內(nèi)部容積 | 4.67cm（不含3個(gè)壓力表及配件） |
| 大量的 | 約1.29公斤 |
| 安裝方法 | 使用前面板安裝螺母或后螺釘進(jìn)行安裝（見(jiàn)外觀(guān)圖） |