中小流量調(diào)壓器 L18HSH-CL2 玉崎供應(yīng)YUTAKA中小流量調(diào)壓器 L18HSH-CL2 玉崎供應(yīng)YUTAKA產(chǎn)品特點(diǎn)L18H系列是一款符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的1.5英寸塊式調(diào)壓器，專為設(shè)備制造商的集成供氣系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。另外，作為L18產(chǎn)品的后繼產(chǎn)品，流量特性也得到了大幅改善。閥體焊接接頭規(guī)格也非常適合節(jié)省閥箱空間。與之前的 L18 系列相比，流量大約增加一倍（面對面尺寸相同）隔膜外部密封采用金屬密
中小流量調(diào)壓器 L18HSH-CL2 玉崎供應(yīng)YUTAKA
中小流量調(diào)壓器 L18HSH-CL2 玉崎供應(yīng)YUTAKA
產(chǎn)品特點(diǎn)
L18H系列是一款符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的1.5英寸塊式調(diào)壓器，專為設(shè)備制造商的集成供氣系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。另外，作為L18產(chǎn)品的后繼產(chǎn)品，流量特性也得到了大幅改善。
閥體焊接接頭規(guī)格也非常適合節(jié)省閥箱空間。
與之前的 L18 系列相比，流量大約增加一倍（面對面尺寸相同）
隔膜外部密封采用金屬密封。
規(guī)格
| 適用氣體 | 高純氣體 |
| 入口壓力 | 0.99MPa以下 |
| 調(diào)節(jié)壓力 | 最大0.7MPa （范圍規(guī)格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.7MPa） |
| 承受壓力 | 1.5MPa（入口側(cè)） |
| Cv值 | 0.1 |
| 工作溫度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 1×10－11Pa·m3/s·He（真空法） |
| 重量 | 約0.36公斤 |
| 安裝方法 | 后部螺絲安裝 |