YUTAKA宇高工程 一體型壓力調(diào)節(jié)器 L12VYUTAKA宇高工程 一體型壓力調(diào)節(jié)器 L12V產(chǎn)品特點L12系列是一款按照1.25英寸SEMI標準設計的壓力調(diào)節(jié)器。 與集成供氣系統(tǒng)的 1.125 英寸、1.5 英寸 W 密封件和 C 密封件兼容。 產(chǎn)品陣容包括高流量和真空規(guī)格以及面密封接頭類型。 規(guī)格入口壓力最大0.99MPa調(diào)節(jié)壓力（L12/L12H）Max.0.7MPa（范圍規(guī)格0～0.2M
YUTAKA宇高工程 一體型壓力調(diào)節(jié)器 L12V
YUTAKA宇高工程 一體型壓力調(diào)節(jié)器 L12V
產(chǎn)品特點
L12系列是一款按照1.25英寸SEMI標準設計的壓力調(diào)節(jié)器。
與集成供氣系統(tǒng)的 1.125 英寸、1.5 英寸 W 密封件和 C 密封件兼容。
產(chǎn)品陣容包括高流量和真空規(guī)格以及面密封接頭類型。
規(guī)格
| 入口壓力 | 最大0.99MPa |
| 調(diào)節(jié)壓力（L12/L12H） | Max.0.7MPa （范圍規(guī)格0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.7MPa） |
| 調(diào)節(jié)壓力（L12V） | 范圍規(guī)格 -0.08～0.1MPa、-0.08～0.2MPa |
| 承受壓力 | 1.5MPa（入口側） |
| Cv值 | 0.1 |
| 工作溫度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 1×10－11Pa·m3/sec·He（真空法） |
| 重量 | 約270g（1.125” SEMI規(guī)格） |