日本 LINTEC琳得科 實(shí)現(xiàn)理想的膠帶剝離效果 RAD-3000F/8
日本 LINTEC琳得科 實(shí)現(xiàn)理想的膠帶剝離效果 RAD-3000F/81. 實(shí)現(xiàn)理想的膠帶剝離效果通過(guò)采用以180°的角度將BG表面保護(hù)膠帶從晶圓上剝離的剝離方法,可以最小化晶圓上的應(yīng)力。2. 自動(dòng)控制UV照度和光強(qiáng)通過(guò)內(nèi)置傳感器反饋控制 UV 照度和光強(qiáng)度,即使使用 UV 固化 BG 表面保護(hù)膠帶,也可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的膠帶剝離。
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