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多孔陶瓷吸附臺用于半導(dǎo)體行業(yè)CAT2528S

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多孔陶瓷吸附臺用于半導(dǎo)體行業(yè)CAT2528S


品牌:NABEYA ナベヤ

特點:

● 適用于生片、聚酰亞胺薄膜、輕軟材料、薄材料等的吸附。

● 氣孔徑55μm型比機械加工的孔徑小,被吸附物的變形量小。

● 氣孔徑2μm型可部分吸附,不覆蓋附著表面的正面,無需掩蔽。

● 氣孔徑2μm型可吸附剛性低的超薄(板厚數(shù)μm)的工件,不會變形。


規(guī)格:

● 材質(zhì):上表面/氧化鋁系陶瓷、底座/不銹鋼(SUS303)

● 平均氣孔率:30~35%

● ※使用時需另外使用真空泵。






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