質量流量控制器 C1020-4S2-10L-Air

質量流量控制器C1020-4S2-10L-N2

采用熱式流量傳感器 流量控制器C1020-4S2-10L-Ar

品牌：其他

特點：

● 采用熱式流量傳感器，無需溫度補償電路即可實現(xiàn)流量精度。

● 抑制啟動時的涌流現(xiàn)象(需要30秒以上的間隔)。

規(guī)格：

● 流量精度:±2%FS(精度保證范圍15~35°C)

● 再現(xiàn)性:±0.2%FS

● 流量控制范圍:5~100%FS

● 流體:氣體

● 可使用溫度:5~50°C85%RH以下

● 響應性:6sec

● 工作壓力范圍:50~300kPa

● 耐壓:1MPa(G)

● 外部泄漏率:1×10^-7Pa?m3/sec(He)以下

● 接氣部材質:SUS316?PTFE?氟橡膠

● 表面處理:機械加工完成

● 接頭:相當于1/4in.SWL

● 輸入輸出:模擬信號(0~5VDC)

● 閥門形式:N/O普通開關

● 驅動電源:+15VDC±5%60mA、-15VDC±5%150mA

● 通信方式:模擬0~5VDC(D-Sub9Pin連接器)