數(shù)字式質(zhì)量流量控制器C2005規(guī)格：● 全尺寸流量:50SCCM● 流量設(shè)定:本體顯示設(shè)定器?事件輸出切換、數(shù)字/RS485、模擬/0~5VDC/4.3~20mA● 流量精度:±1%FS(精度保證范圍15~35°C)● 響應(yīng)時(shí)間:≤2sec● 控制流量范圍:2~100%FS● 流量輸出信號(hào):本體顯示器7段LED數(shù)字/RS485、模擬/0~5VDC/4~20mA● 閥門(mén)類(lèi)型:NC(正常關(guān)閉)● 再現(xiàn)
數(shù)字式質(zhì)量流量控制器C2005
對(duì)應(yīng)氣體Air\N2\Ar\He\h2
規(guī)格：
● 全尺寸流量:50SCCM
● 流量設(shè)定:本體顯示設(shè)定器?事件輸出切換、數(shù)字/RS485、模擬/0~5VDC/4.3~20mA
● 流量精度:±1%FS(精度保證范圍15~35°C)
● 響應(yīng)時(shí)間:≤2sec
● 控制流量范圍:2~100%FS
● 流量輸出信號(hào):本體顯示器7段LED數(shù)字/RS485、模擬/0~5VDC/4~20mA
● 閥門(mén)類(lèi)型:NC(正常關(guān)閉)
● 再現(xiàn)性:±0.2%FS
● 耐壓力:1MPa
● 外部泄漏:1×10^-7Pa?m3/secHe
● 接氣部:SUS316、PTFE、氟橡膠
● 密封部材質(zhì):氟橡膠
● 標(biāo)準(zhǔn)連接接頭:1/4inSWL(等價(jià)品)
● 使用保證溫度:5~50°C
● 供給電源電壓/消耗電流:24VDC/mA以上
● 通信方式:數(shù)字/RS、VDC/500mA以上
● 通信方式:數(shù)字/RS485、模擬/485VDC/0~5mA
● 尺寸:4~20×10×-7mm