氣體混合器 CUBE系列 CUBEGM2氣體混合器 CUBE系列 CUBEGM3氣體混合器 CUBE系列 CUBEGM4品牌：其他特點(diǎn)：● 是質(zhì)量流量控制器、控制電源、閥門、止回閥、氣體混合器一體式的模塊型?！?可對(duì)2～4種不同氣體進(jìn)行流量控制以供應(yīng)混合氣體。規(guī)格：● 對(duì)應(yīng)氣體:Air?N2?Ar?He?H2(其他氣體請(qǐng)咨詢)● 流量控制范圍:各氣體F.S.10SCCM~20SLM(但是，各氣體的
氣體混合器 CUBE系列 CUBEGM2
氣體混合器 CUBE系列 CUBEGM3
氣體混合器 CUBE系列 CUBEGM4
品牌：其他
特點(diǎn)：
● 是質(zhì)量流量控制器、控制電源、閥門、止回閥、氣體混合器一體式的模塊型。
● 可對(duì)2～4種不同氣體進(jìn)行流量控制以供應(yīng)混合氣體。
規(guī)格：
● 對(duì)應(yīng)氣體:Air?N2?Ar?He?H2(其他氣體請(qǐng)咨詢)
● 流量控制范圍:各氣體F.S.10SCCM~20SLM(但是，各氣體的合計(jì)流量為50SLM以下)
● 流量設(shè)定:可通過10轉(zhuǎn)電位計(jì)變化
● 流量設(shè)定/輸出顯示:定標(biāo)顯示
● 設(shè)定/輸出顯示切換:撥動(dòng)開關(guān)
● IN?OUTLET閥門:球閥
● 接氣部材質(zhì):不銹鋼(SUS316)、PTFE(四氟化乙烯樹脂)、氟橡膠
● 接頭:相當(dāng)于1/4in.SWL
● 外部泄漏:5×10^-7Pa?m3/secHe
● 輸入電源:AC100V
● 使用環(huán)境:溫度/5~50°C(精度保證范圍:15~35°C)、濕度/30~80%(無結(jié)露)
● 配件:AC電纜(2m)