氣體混合器 CUBE系列 CUBEGM2

氣體混合器 CUBE系列 CUBEGM2

品牌：其他

特點：

● 是質(zhì)量流量控制器、控制電源、閥門、止回閥、氣體混合器一體式的模塊型。

● 可對2～4種不同氣體進行流量控制以供應混合氣體。

規(guī)格：

● 對應氣體:Air?N2?Ar?He?H2(其他氣體請咨詢)

● 流量控制范圍:各氣體F.S.10SCCM~20SLM(但是，各氣體的合計流量為50SLM以下)

● 流量設定:可通過10轉(zhuǎn)電位計變化

● 流量設定/輸出顯示:定標顯示

● 設定/輸出顯示切換:撥動開關

● IN?OUTLET閥門:球閥

● 接氣部材質(zhì):不銹鋼(SUS316)、PTFE(四氟化乙烯樹脂)、氟橡膠

● 接頭:相當于1/4in.SWL

● 外部泄漏:5×10^-7Pa?m3/secHe

● 輸入電源:AC100V

● 使用環(huán)境:溫度/5~50°C(精度保證范圍:15~35°C)、濕度/30~80%(無結(jié)露)

● 配件:AC電纜(2m)