HF-960EM 是使用帶有完全 PFA 接液部件的傳感器的型號(hào)，以滿足半導(dǎo)體工藝的清潔度要求。傳感器尺寸已縮小到最大極限，以支持節(jié)省空間的安裝。提高穩(wěn)定性和重現(xiàn)性準(zhǔn)確性，并支持高達(dá) 50% 的 HF 濃度的寬測量范圍。

·特征：HF 密度高達(dá) 50% 的寬范圍設(shè)置

·高穩(wěn)定性/再現(xiàn)性精度

內(nèi)置溫度測量傳感器支持高達(dá) 80°C 的 HF 樣品測量。再現(xiàn)精度達(dá)到 FS ± 0.5%。

·自動(dòng)量程兼容功能

·無污染/耐化學(xué)性液體傳感器

使用僅使用 PFA 作為接液材料的清潔結(jié)構(gòu)的傳感器。由于它是一種耐化學(xué)品傳感器，它還可以測量半導(dǎo)體工藝中使用的各種化學(xué)品。

·比我們的傳統(tǒng)傳感器更小、更輕

的傳感器。它的尺寸縮小了 2/3，并且明顯更輕。提高了安裝空間的自由度，例如安裝在單晶片噴嘴的前面。

規(guī)格：

模型HF-960EM

測量范圍HF：0 -50%，HCl：0 -10%，電導(dǎo)率：0――2000 mS/cm

重復(fù)性在滿量程的 +/- 0.5% 以內(nèi)（等效輸入）

直線度滿量程 +/- 0.5% FS 或更?。ǖ刃л斎耄?/span>

傳輸輸出輸出點(diǎn)數(shù)：4點(diǎn)

接點(diǎn)輸出輸出點(diǎn)數(shù)：5點(diǎn)

觸點(diǎn)輸入輸入點(diǎn)數(shù)：2點(diǎn)

通訊功能RS-485

電源供應(yīng)直流 24 V +/- 10% 15W

合格傳感器CM-520 系列

潤濕部分粉煤灰