HORIBA堀場碳傳感器電導(dǎo)儀低濃度型HE-480C-GC

隨著器件的發(fā)展，在半導(dǎo)體制造工藝的濕法工藝中使用的化學(xué)品種類也在不斷增加。HE-480C-GC使用耐化學(xué)性高的傳感器測量化學(xué)物質(zhì)的電導(dǎo)率，是過程中濃度控制、化學(xué)物質(zhì)稀釋控制和超純水循環(huán)監(jiān)測的理想選擇。

特征：

優(yōu)異的耐化學(xué)性和耐壓性能

采用耐高壓、高耐化學(xué)性的特殊電極，非常適合測量化學(xué)處理后的DIW Rince的電導(dǎo)率值和在循環(huán)管線上測量。

由于無金屬污染

電極材料使用特殊碳，因此無需擔(dān)心金屬污染洗脫。

溫度測量/顯示功能

使用溫度補償元件Pt1000Ω?？梢赃M(jìn)行溫度測量和顯示。

同時顯示測量值和參數(shù)設(shè)置

值 即使在設(shè)置或調(diào)用設(shè)置值時也可以檢查測量值。

內(nèi)置豐富的溫度補償功能

由于可以選擇超純水的溫度特性（參考溫度25°C）、NaCl溫度特性、參考溫度和溫度補償系數(shù)，可以根據(jù)測量液體進(jìn)行溫度補償。

圖標(biāo)狀態(tài)顯示增強，安全功能

儀器狀態(tài)由圖標(biāo)顯示。易于理解的顯示可防止操作錯誤。此外，所有按鍵操作均通過設(shè)置安全碼鎖定，防止因故障導(dǎo)致測量錯誤。

符合 RoHS 指令

規(guī)格：指令轉(zhuǎn)換器

格式HE-480C-GC

測量方法2電極法

傳感器輸入1個頻道

溫度傳感器規(guī)格鉑電阻1000Ω/0℃

重復(fù)性* 1 ± 0.5% 全量程內(nèi)

* 2 ± 1.0% 全量程內(nèi)

* 3 ± 1.5% 全量程內(nèi)

（等效輸入）

直線度* 1 ± 0.5% 全量程內(nèi)

* 2 ± 1.0% 全量程內(nèi)

* 3 ± 1.5% 全量程內(nèi)

（等效輸入）

傳輸輸出輸出點數(shù)：1點

DC4～20mA 輸入/輸出絕緣型 最大負(fù)載電阻：900Ω

傳輸輸出范圍：測量范圍內(nèi)任意設(shè)定

接點輸出輸出點數(shù)：2點

報警接點輸出（R1、R2）

　接點類型：繼電器接點SPDT（1c）

　接點容量：AC240V 3A、DC 30V 3A（阻性負(fù)載）

　接點功能：上下限運行（ON/OFF控制)、USP 從判斷、異常報警、

維護(hù)中選擇設(shè)置

校準(zhǔn)功能電導(dǎo)率：通過輸入電極常數(shù)的校正系數(shù)（參數(shù)輸入）

溫度：與參考溫度計比較校準(zhǔn)

TDS：通過任意系數(shù)轉(zhuǎn)換（0.30 到 1.00）

保持功能從最后一分鐘保持、任意值保持和連續(xù)中選擇

（但是，在維護(hù)模式下，使用最后一個值保持）。

自診斷功能 傳感器診斷（溫度傳感器短路、溫度傳感器斷線）

超出測量范圍

A/D轉(zhuǎn)換器比例過

轉(zhuǎn)換器錯誤

溫度補償 超純水的溫度特性（參考溫度25℃）

NaCl的溫度特性

參考溫度和溫度系數(shù)可選設(shè)置（參考溫度：5~95°C 溫度系數(shù)：±5%/°C）

溫度補償范圍0-100℃

工作環(huán)境溫度和濕度溫度：-5 至 45°C，濕度：20 至 85%（無冷凝）

電源供應(yīng)AC100-240V ± 10% 50 / 60Hz 10VA（最大）

保護(hù)結(jié)構(gòu)面板部分：IP65、后殼：IP20、端子部分：IP00（面板安裝室內(nèi)安裝型）

大量的約400克

符合標(biāo)準(zhǔn)CE 標(biāo)志，F(xiàn)CC Part15

組合傳感器ESH系列電導(dǎo)GC傳感器

可滾動的

傳感器

格式ESH-01-L-GC5-Y-10M ESH-1-L-GC9-Y-10M

電池常數(shù)（約 0.1/cm） （約 1 個/厘米）

濕接觸材料極端部分 GC（玻璃碳）

身體的一部分 粉煤灰

橡膠密封件 Callets?

樣品水條件溫度：0-80℃，壓力：0-0.5MPa

電纜長度10m，Y端子（標(biāo)準(zhǔn)）*4

安裝旋入直徑：R（PT）3/4

組合支架分配型支架EFA-30系列*5

可滾動的

* 4 請聯(lián)系我們了解電纜長度和端子加工形狀。

* 5 分配型支架使用 EFA-30P (PVDF) 或 EFA-30F (PFA)。